[实用新型]晶圆加工过程中定心装置

权利要求书

1.晶圆加工过程中定心装置，包括支撑平台（1）、定位电机（2），其特征在于，所述的支撑平台（1）上竖向设有直线模组（3），所述的直线模组（3）移动端固定连接有放置平台（4），所述的放置平台（4）上设有晶圆放置框（5），所述的支撑平台（1）上间隔固定连接有四组支撑柱（6），四组所述的支撑柱（6）上固定连接有辅助板（7），所述的辅助板（7）上间隔固定连接有两组滑动轨道（8），两组所述的滑动轨道（8）上滑动连接有四组第一滑动块9、四组第二滑动块（10），四组所述的第一滑动块（9）、第二滑动块（10）上均固定连接有定位板（11），所述的定位板（11）上固定连接有定位轨道（12），所述的辅助板（7）底部间隔转动连接有两组同步轮（13），两组所述的同步轮（13）间同步带连接，其中一组所述的同步轮（13）由定位电机（2）驱动，所述的定位板（11）底部固定连接有与同步带配合的辅助过渡杆（14）。

2.根据权利要求1所述的晶圆加工过程中定心装置，其特征在于，所述的定位轨道（12）前端设有倾斜放置的过渡块（15），所述的过渡块（15）上开设有与晶圆放置框（5）配合的晶圆过渡槽（16），所述的定位轨道（12）内侧壁上间隔转动连接有与晶圆过渡槽（16）对应的晶圆过渡轮（17）。

3.根据权利要求2所述的晶圆加工过程中定心装置，其特征在于，两组所述的定位轨道（12）上设的过渡块（15）间的夹角从左到右，由大到小设置。

4.根据权利要求3所述的晶圆加工过程中定心装置，其特征在于，四组所述的支撑柱（6）为可伸缩支撑柱（6）。