[实用新型]夹持装置

说明书

本实用新型的实施例提供了一种夹持装置，涉及半导体技术领域。该夹持装置包括夹持体、第一夹持件、第二夹持件以及推动件。第一夹持件可移动地连接于夹持体，第一夹持件设置有第一夹持柱，第一夹持柱用于卡入防护膜一侧的第一卡孔内。第二夹持件可移动地连接于夹持体，第二夹持件设置有第二夹持柱，第二夹持柱用于卡入防护膜另一侧的第二卡孔内。推动件可移动地连接于夹持体，推动件具有用于滑动抵持第一夹持件和第二夹持件的推动壁；推动件用于在相对于夹持件移动的过程中，推动壁同时作用于第一夹持件和第二夹持件，从而使得第一夹持柱和第二夹持柱能够相互靠近以夹持防护膜或相互远离以松开防护膜。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种夹持装置。

背景技术

光罩图形面一般需要贴附防护膜，这样可以防止环境或者制程过程中颗粒、粉尘等掉落到图形上而造成后面曝光时产生缺陷。现有技术中，防护膜(pellicle)的取用都是操作人员直接用手操作，即手动贴膜。在操作过程中，人的手与防护膜的直接接触极大的增加了人为导致防护膜破裂的风险，而且所戴手套黏附粉尘也可能印在防护膜框或边缘上，从而影响防护膜的品质。人工转移防护膜时，如果操作不当也会有导致防护膜掉落的风险。

因此，亟需一款工具辅助贴膜，避免人工直接取用防护膜。

实用新型内容

本实用新型提供了一种夹持装置，其能够通过夹持防护膜实现辅助贴膜。

本实用新型的实施例可以这样实现：

本实用新型的实施例提供了一种夹持装置，其包括：

夹持体；

第一夹持件，所述第一夹持件可移动地连接于所述夹持体，所述第一夹持件设置有第一夹持柱，所述第一夹持柱用于卡入防护膜一侧的第一卡孔内；

第二夹持件，所述第二夹持件可移动地连接于所述夹持体，所述第二夹持件设置有第二夹持柱，所述第二夹持柱用于卡入所述防护膜另一侧的第二卡孔内；以及

推动件，所述推动件可移动地连接于所述夹持体，所述推动件具有用于滑动抵持所述第一夹持件和所述第二夹持件的推动壁；所述推动件用于在相对于所述夹持件移动的过程中，所述推动壁同时作用于所述第一夹持件和所述第二夹持件，从而使得所述第一夹持柱和所述第二夹持柱能够相互靠近以夹持所述防护膜或相互远离以松开所述防护膜。

可选地，所述夹持体包括依次连接的第一壳体、第二壳体以及第三壳体，所述第一壳体、所述第二壳体以及所述第三壳体之间限定出用于容纳所述防护膜的夹持空间；

所述第一壳体设置有第一伸缩孔，所述第一夹持柱可滑动地与所述第一伸缩孔配合以卡入或退出位于所述夹持空间内的所述防护膜的第一卡孔；

所述第二壳体设置有第一位移孔和第二位移孔，所述第一夹持件用于通过所述第一位移孔与所述推动壁抵持，所述第二夹持件用于通过所述第二位移孔与所述推动壁抵持；

所述第三壳体设置有第二伸缩孔，所述第二夹持柱可滑动地与所述第二伸缩孔配合以卡入或退出位于所述夹持空间内的所述防护膜的第二卡孔。

可选地，所述第一夹持件包括依次连接的第一杆件、第二杆件以及第三杆件；所述第一杆件和所述第二杆件垂直，所述第二杆件和所述第三杆件垂直，所述第一杆件和所述第三杆件相对于所述第二杆件背向延伸；所述第一杆件容置于所述第一壳体内，所述第二杆件容置于所述第二壳体内，所述第三杆件通过所述第一位移孔与所述推动壁抵持；所述第一夹持柱设置于所述第一杆件；和/或，所述第二夹持件包括依次连接的第四杆件、第五杆件以及第六杆件；所述第四杆件和所述第五杆件垂直，所述第五杆件和所述第六杆件垂直，所述第四杆件和所述第六杆件相对于所述第五杆件背向延伸；所述第四杆件容置于所述第三壳体内，所述第五杆件容置于所述第二壳体内，所述第六杆件通过所述第二位移孔与所述推动壁抵持；所述第二夹持柱设置于所述第四杆件。