[实用新型]一种蒸发源、蒸发源系统和真空镀膜设备

权利要求书

1.一种蒸发源，包括舟体(1)，其特征在于：所述舟体(1)的左右两侧均连接有电极部(2)，所述舟体(1)的内部设置有凹槽(3)，所述凹槽(3)的内部底端连接有电极板(4)，所述电极板(4)的顶部设置有多个石墨块(5)，所述石墨块(5)的内部设置有多个孔洞(6)，所述电极部(2)的第一端与所述舟体(1)电性连接，所述孔洞(6)的内部用于设置蒸发熔融容器。

2.根据权利要求1所述的一种蒸发源，其特征在于，所述凹槽(3)的内部沿宽度方向的两侧靠近所述电极板(4)的一侧均设置有侧板(8)，所述侧板(8)的外侧设置有冷却板(9)，所述冷却板(9)的外侧设置有保温层(10)，所述保温层(10)与所述凹槽(3)的内壁相连。

3.根据权利要求1所述的一种蒸发源，其特征在于，所述凹槽(3)的内部沿宽度方向的两侧靠近所述电极板(4)的一侧均设置有侧板(8)，所述侧板(8)的外侧设置有保温层(10)，所述保温层(10)的外侧设置有绝缘材料层，所述绝缘材料层的外侧设置有冷却板(9)。

4.根据权利要求2或3所述的一种蒸发源，其特征在于：所述舟体(1)的材质为石墨，所述侧板(8)的材质为石墨；所述蒸发熔融容器包括坩埚(7)，所述坩埚(7)采用非导电材质，所述坩埚(7)的锅口具有边沿。

5.根据权利要求4所述的一种蒸发源，其特征在于：所述孔洞(6)在石墨块(5)上间隔设置，并且相邻的所述坩埚(7)的锅口的边沿不发生接触干涉。

6.根据权利要求1所述的一种蒸发源，其特征在于：所述孔洞(6)在石墨块(5)上排成两列，两列孔洞(6)的首尾错开设置。

7.根据权利要求2或3所述的一种蒸发源，其特征在于：所述保温层(10)的内部填充有保温材料；所述凹槽(3)的形状是长方体形，所述凹槽(3)由一个底部和多个侧部围合而成，所述多个侧部垂直地设置在所述底部的边缘上。

8.根据权利要求1所述的一种蒸发源，其特征在于，所述电极部(2)的第二端用于与电极铜排电性连接，所述电极铜排用于与变压器电性连接。

9.一种蒸发源系统，其特征在于，其包括：

权利要求1-8中任意一项所述的蒸发源；

电极铜排，与所述蒸发源中的电极部(2)的第二端电性连接；

变压器，与所述电极铜排电性连接。

10.一种真空镀膜设备，其特征在于，其包括权利要求1-8中任意一项所述的蒸发源，或者权利要求9中的蒸发源系统。