[实用新型]一种具有安装卡盘的探针台

说明书

本申请涉及一种具有安装卡盘的探针台，属于晶圆检测的技术领域，其包括操作台，操作台上开设有安装孔，操作台的边沿处开设有卸料口，且安装孔与卸料口连通，操作台上还可拆卸设置有安装卡盘，安装卡盘上具有安装载体以及手持板，安装载体设置于安装孔内，且安装载体上可拆卸连接有若干数量的探针组件，手持板位于卸料口内。本申请具有改善了安装卡盘从操作台中部拆卸困难的缺陷的效果。

技术领域

本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其是涉及一种具有安装卡盘的探针台。

背景技术

探针台主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及芯片上的高精密电学测量。随着行业的发展，被测器件的种类越来越多，要求也越来越复杂，探针台的功能必须有相应的提升。

相关技术中,在对芯片进行探针测试之前，需要将探针卡上的探针直接与芯片上的焊点直接接触以引出芯片信号，探针卡通过安装卡盘安装在探针台上。安装卡盘都是位于探针台的操作台上表面的中部的，因此，在将探针卡安装于安装卡盘上时，需要将安装卡盘从操作台中部取出来，然后再在安装卡盘上安装探针卡。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在有安装卡盘从操作台中部拆卸困难的缺陷。

实用新型内容

为了改善存在有安装卡盘从操作台中部拆卸困难的缺陷，本申请提供一种具有安装卡盘的探针台。

本申请提供的一种具有安装卡盘的探针台,采用如下的技术方案：

一种具有安装卡盘的探针台，包括操作台，所述操作台上开设有安装孔，所述操作台的边沿处开设有卸料口，且所述安装孔与卸料口连通，所述操作台上还可拆卸设置有安装卡盘，所述安装卡盘上具有安装载体以及手持板，所述安装载体设置于安装孔内，且所述安装载体上可拆卸连接有若干数量的探针组件，所述手持板位于卸料口内。

通过采用上述技术方案，需要在安装卡盘上安装探针组件时，操作人员的手部伸入卸料口内，然后手持安装卡盘的手持板，接着将整个安装卡盘抬起，使其从安装孔中拆卸下来，接着将探针组件安装于安装卡盘的安装载体上，再将安装卡盘安装于操作台上；

相比于相关技术中的安装卡盘都是位于探针台的操作台上表面的中部的，难以将安装卡盘快速便捷的拆卸下来，本申请通过在操作台上开设于安装孔连通的卸料口，且采用的安装卡盘也并不是现有的圆形卡盘，而是类似“D”字形结构的安装卡盘，一方面，安装卡盘不易在安装孔中转动以影响探针组件对晶圆的检测，另一方面，该形状的安装卡盘不易伸出操作台被其他人意外触碰，且该形状的安装卡盘更便于操作人员手持拆卸，因此，本申请具有改善了安装卡盘从操作台中部拆卸困难的缺陷的效果。

可选的，所述安装孔的侧壁上具有安装台面，所述安装载体位于安装台面上；所述操作台上还设置有用于将安装卡盘固定于安装台面上的固定组件，所述固定组件的数量为若干个。

通过采用上述技术方案，固定组件用于将安装载体固定于安装台面上，相比于现有技术中的圆形安装卡盘需要采用螺钉固定，本申请的类似“D”字形结构的安装卡盘不易在安装台面上转动，无需采用将安装载体与安装台面通过螺钉固定，因此，本申请安装卡盘的固定也是简单快捷的，进而提高了安装卡盘拆卸的便捷性。

可选的，所述固定组件包括锁紧件和固定片，所述固定片抵接于安装载体远离安装台面的一侧，所述锁紧件用于将固定片与操作台固定连接。

通过采用上述技术方案，固定片抵接于安装载体远离安装台面的一侧，而本申请采用的锁紧件为锁紧螺栓，锁紧螺栓穿过固定片与操作台螺纹连接，即可使得固定片将安装卡盘固定在安装台面上；当需要将安装卡盘拆卸时，仅需稍微松动锁紧件，然后使得固定片以锁紧件为轴心转动，使得固定片不再抵接于安装卡盘，即可解除固定片对安装卡盘的固定。

可选的，所述安装台面以及手持板的下侧均可拆卸连接有固定夹具，所述固定夹具的数量为若干个，且所述固定夹具用于夹持固定探针卡。