[实用新型]一种激光刻蚀机用定位系统、激光刻蚀机及激光刻蚀系统

权利要求书

1.一种激光刻蚀机用定位系统，其特征在于，包括搬运单元(3)和CCD单元(4)，搬运单元(3)上设有定位单元(7)，CCD单元(4)设置在搬运单元(3)的侧边上，定位单元(7)与CCD单元(4)通讯连接并用于调整激光治具(6)的位置；

搬运单元(3)包括底轨(301)、滑动设置在底轨(301)上的连接块(302)和设置在底轨(301)侧面的第一拖链(303)，第一拖链(303)通过钣金件(304)与连接块(302)相连；

定位单元(7)包括由下至上依次设置的Y轴调节模块(71)、调节底板(72)、XY调平面平台(73)和调节模组底板(74)，调节模组底板(74)用于固定激光治具(6)，底轨(301)和Y轴调节模块(71)分别通讯连接CCD单元(4)。

2.根据权利要求1所述的激光刻蚀机用定位系统，其特征在于，调节模组底板(74)包括固定在XY调平面平台(73)上的下板(741)、若干个第一立柱(742)和上板(743)，第一立柱(742)用于连接下板(741)和上板(743)，上板(743)的顶面设有适配于激光治具(6)的放置槽(701)，放置槽(701)的一侧设有固定板(702)，上板(743)的底面设有下固定件(75)，上板(743)的侧面设有上固定件(76)，下固定件(75)和上固定件(76)配合以使激光治具(6)抵紧固定板(702)。

3.根据权利要求2所述的激光刻蚀机用定位系统，其特征在于，下固定件(75)包括固定在上板(743)底面的第一气缸(703)、与第一气缸(703)相连的推板(704)和固定在推板(704)上的推块(705)，推块(705)设有两个并对称设置在推板(704)的两端，相应地，上板(743)上设有适配于推块(705)的推槽。

4.根据权利要求2所述的激光刻蚀机用定位系统，其特征在于，上固定件(76)包括固定在上板(743)侧面的第二气缸(706)和与第二气缸(706)相连的压块(707)，相应地，固定板(702)构造为L型，其中一个侧面用于与推块(705)配合，另一个侧面用于与压块(707)配合。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的激光刻蚀机用定位系统，其特征在于，固定板(702)构造为L型，其中一个侧面用于与下固定件(75)抵紧，另一个侧面用于与上固定件(76)抵紧。

6.根据权利要求1所述的激光刻蚀机用定位系统，其特征在于，CCD单元(4)包括下立柱(401)、上立柱(402)和CCD相机(403)，下立柱(401)固定在搬运单元(3)侧边，下立柱(401)与上立柱(402)之间设有第一微调平台(404)，CCD相机(403)通过第二微调平台(405)与上立柱(402)相连，上立柱(402)的侧面设有光源钣金件(406)，光源钣金件(406)包括固定在上立柱(402)上的主体部和延伸至CCD相机(403)的镜头下方的光圈。

7.一种激光刻蚀机，其特征在于，包括权利要求1-6中任一项所述的激光刻蚀机用定位系统。

8.一种激光刻蚀系统，其特征在于，包括多个权利要求7所述的激光刻蚀机，多个激光刻蚀机依次相连以分别加工物料不同部位。