[实用新型]一种旋转阴极从动端连接结构

说明书

本实用新型公开一种旋转阴极从动端连接结构，属于旋转阴极安装结构技术领域。该从动端连接结构包括从动端支撑座、球头组件和转动轴承；所述球头组件包括球头座以及装配于所述球头座内的球头销；所述旋转阴极的从动端与所述球头销连接，所述球头座与所述从动端支撑座之间通过所述转动轴承转动连接。该旋转阴极从动端连接结构将旋转阴极的从动端与从动端支撑座之间通过球头组件连接，这样在安装时即使两端存在安装误差旋转阴极的从动端连接的球头销也能够在球头座中转动，从而调整同轴度或补偿安装误差，实现旋转阴极的偏心安装，能够大大提高旋转阴极的安装难度。

技术领域

本实用新型涉及旋转阴极安装结构技术领域，特别涉及一种旋转阴极从动端连接结构。

背景技术

旋转磁控溅射阴极（简称旋转阴极）是目前大面积真空镀膜的重要设备之一。由于旋转磁控溅射阴极在工作时需要转动，且传统的旋转磁控溅射阴极如图1所示，从动端也是通过轴承刚性转动连接的，在转动时因为两端的同轴度以及主动端与从动端之间存在安装误差，会产生一定的震动，长时间的震动会导致密封性降低，减少旋转磁控溅射阴极的使用寿命，且震动也使得阴极的位置产生偏移，造成其在工作过程中磁控溅射发生溅射的靶材厚度过薄或者过厚。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种旋转阴极从动端连接结构，以解决传统的旋转阴极因主动端和从动端都是轴承刚性转动连接的，在转动过程中会产生震动影响旋转阴极使用寿命或溅射的靶材厚度过薄或者过厚的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种旋转阴极从动端连接结构，用于活动支撑旋转阴极的从动端；包括从动端支撑座、球头组件和转动轴承；

所述球头组件包括球头座以及装配于所述球头座内的球头销；

所述旋转阴极的从动端与所述球头销连接，所述球头座与所述从动端支撑座之间通过所述转动轴承转动连接。

优选的，所述球头座的侧壁与底部形成半球形的第一安装腔，所述第一安装腔与所述球头销间隙配合。

优选的，所述球头座的侧壁经反向折弯后延伸，形成环形的第二安装腔，所述转动轴承安装于所述第二安装腔，使得所述球头座与所述从动端支撑座转动连接。

优选的，所述球头座两头开口，所述旋转阴极的从动端从所述球头座的一头沿所述球头销的中心孔穿过，并在球头座的另一头通过螺栓将所述球头销与所述旋转阴极的从动端固定连接。

优选的，所述从动端支撑座上垂直设置有连接套筒，所述连接套筒插入所述球头座环形的第二安装腔内，且使得转动轴承的轴承外圈与所述球头座过盈配合，轴承内圈与所述接套筒过盈配合。

优选的，所述转动轴承为调心滚子轴承。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

传统的旋转阴极主动端与从动端都是通过轴承刚性转动连接的，在转动时因为两端的同轴度以及主动端与从动端之间存在安装误差，会产生一定的震动和扭矩增大，长时间的震动会导致密封性降低，减少旋转磁控溅射阴极的使用寿命，且震动也使得阴极的位置产生偏移，造成其在工作过程中磁控溅射发生溅射的靶材厚度过薄或者过厚；该旋转阴极从动端连接结构将旋转阴极的从动端与从动端支撑座之间通过球头组件连接，这样在安装时即使两端存在安装误差旋转阴极的从动端连接的球头销也能够在球头座中转动，从而调整同轴度或补偿安装误差，实现旋转阴极的偏心安装，能够大大提高旋转阴极的安装难度。

附图说明

图1是传统的旋转磁控溅射阴极的结构示意图；

图2是本实用新型提供的一种旋转阴极从动端连接结构的结构示意图；

图3是本实用新型提供的一种旋转阴极从动端连接结构球头座的结构示意图；

图4是本实用新型提供的一种旋转阴极从动端连接结构球头座与球头销的装配示意图；