[实用新型]一种单晶硅靶材焊接装置

权利要求书

1.一种单晶硅靶材焊接装置，其特征在于：包括用于夹持靶材的夹具和焊接装置，所述夹具包括底座，所述底座包括上部安装面和侧部夹持面，所述上部安装面上固定有单耳环座(3)，所述单耳环座(3)上铰接有气缸(6)，所述气缸(6)内部的活塞末端固定有单肘接头(7)，所述单肘接头(7)与回转臂(14)相连接，所述回转臂(14)中部通过连接销三(10)与转臂支座(9)相连接，连接销三(10)的两端各设置有一个限位销三(11)，所述转臂支座(9)固定在上部安装面上，所述回转臂(14)的端部通过连接销四(15)装有压轮(17)，所述压轮(17)用于压紧靶材，所述焊接装置用于焊接夹具上被夹紧的靶材。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅靶材焊接装置，其特征在于：所述单耳环座(3)通过螺栓一(4)固定在上部安装面上。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅靶材焊接装置，其特征在于：所述螺栓一(4)与单耳环座(3)之间设置有垫片一(5)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅靶材焊接装置，其特征在于：所述转臂支座(9)通过螺栓二(12)固定在上部安装面上。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅靶材焊接装置，其特征在于：所述螺栓二(12)与转臂支座(9)之间设置有垫片二(13)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅靶材焊接装置，其特征在于：所述单肘接头(7)包括安装部，所述安装部的端部设置有两个平行设置的安装板，所述回转臂(14)通过连接销二(8)安装在两个安装板之间，所述安装部与活塞的端部固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅靶材焊接装置，其特征在于：所述连接销二(8)两端各装有一个限位销二。

8.根据权利要求1所述的一种单晶硅靶材焊接装置，其特征在于：所述气缸(6)端部通过连接销一(1)与单耳环座(3)相连接。

9.根据权利要求8所述的一种单晶硅靶材焊接装置，其特征在于：所述连接销一(1)两端各设置有一个限位销一(2)。