[实用新型]一种用于刻划薄膜太阳能电池的刻针有效
申请号: | 202222750044.9 | 申请日: | 2022-10-19 |
公开(公告)号: | CN218849418U | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 李松;钱亦辰;刘顺;刘云;卞鹏 | 申请(专利权)人: | 泰州锦能新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/463 | 分类号: | H01L21/463;H01L31/18 |
代理公司: | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 | 代理人: | 柯丽芳 |
地址: | 225300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 刻划 薄膜 太阳能电池 | ||
1.一种用于刻划薄膜太阳能电池的刻针,其特征在于,包括刻针本体,所述刻针本体包括依次连接的柄部、主体部和刻划部,所述柄部和所述主体部均呈圆柱形,所述刻划部呈圆锥形,所述刻划部的尖端设置有针尖平面,所述针尖平面边缘设置有弧形倒角;所述刻划部的尖端涂覆有耐磨涂层。
2.如权利要求1所述的用于刻划薄膜太阳能电池的刻针,其特征在于,所述柄部、主体部和刻划部同轴设置;所述柄部的直径大于所述主体部的直径,所述主体部的直径与所述刻划部的最大直径相同。
3.如权利要求1所述的用于刻划薄膜太阳能电池的刻针,其特征在于,所述刻划部的竖截面顶角的角度为40°-70°。
4.如权利要求1所述的用于刻划薄膜太阳能电池的刻针,其特征在于,所述针尖平面的直径为0.06mm-0.14mm,所述弧形倒角的半径为0.01mm-0.03mm。
5.如权利要求1所述的用于刻划薄膜太阳能电池的刻针,其特征在于,所述耐磨涂层从所述针尖平面延伸到所述刻划部的侧壁,所述耐磨涂层延伸到所述刻划部侧壁的长度大于针尖平面的半径且小于针尖平面的直径。
6.如权利要求1所述的用于刻划薄膜太阳能电池的刻针,其特征在于,所述耐磨涂层为钻石薄膜涂层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造