[实用新型]一种清洗槽加液控制装置

说明书

本实用新型涉及一种清洗槽加液控制装置，所述清洗槽加液控制装置包括槽体以及设置在槽体上的控制器，所述槽体内可旋转地设置摆动组件，所述摆动组件包括电机以及与所述电机输出端旋转连接的框架，所述框架近端设置撑脚，所述撑脚用于固定花篮，所述槽体近端设置加药装置，所述加药装置包括储药箱，所述储药箱通过管道连接至所述槽体内，所述管道上设置电子阀，所述框架上还设置计数装置，所述控制器分别与计数装置和电子阀连接，当花篮放置在框架上并触发计数装置达到设定的次数后，控制器控制所述电子阀打开使所述储药箱向所述槽体内加药，结构简单，无需人工操作，加药工作效率高。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其涉及一种清洗槽加液控制装置。

背景技术

硅片加工需要将单晶硅棒切成片，厚度在180微米～220微米之间，硅片经过磨边机抛磨、清洗机清洗等工序，制成待加工的原料硅片。

现有技术中，清洗机的清洗槽中加液控制装置都是凭工人的经验对清洗槽内的pH值进行调整，例如人工观察硅片装篮片数，达到一定片数进行加药操作，通过打开阀门使出药箱内的碱液经连通管进入清洗槽内，但是人工经验有时不准确，并且操作繁琐，工作效率低。

实用新型内容

针对上述现有技术的缺点，本实用新型的目的是提供一种清洗槽加液控制装置，以解决现有技术中的一个或多个问题。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种清洗槽加液控制装置，所述清洗槽加液控制装置包括槽体以及设置在槽体上的控制器，所述槽体内可旋转地设置摆动组件，所述摆动组件包括电机以及与所述电机输出端旋转连接的框架，所述框架近端设置撑脚，所述撑脚用于固定花篮，所述槽体近端设置加药装置，所述加药装置包括储药箱，所述储药箱通过管道连接至所述槽体内，所述管道上设置电子阀，所述框架上还设置计数装置，所述控制器分别与计数装置和电子阀连接，当花篮放置在框架上并触发计数装置达到设定的次数后，控制器控制所述电子阀打开使所述储药箱向所述槽体内加药。

进一步的，所述花篮包括两块固定板以及设置在所述固定板之间的若干支撑杆，所述支撑杆与固定板围成放置硅片的空间。

进一步的，所述计数装置设置在固定板远端，所述计数装置近端具有按钮伸出所述框架，每次把花篮放置在框架上时，所述固定板压下所述按钮触发计数装置。

进一步的，所述固定板侧面具有吊耳。

进一步的，所述框架开设有第一框部和第二框部，所述撑脚分别设置在第一框部近端的两侧和第二框部近端的两侧。

进一步的，所述撑脚包括竖挡板以及连接在竖挡板两端的横挡板。

进一步的，所述电机输出端连接转轴，所述转轴穿过所述框架与槽体可旋转地连接。

进一步的，所述槽体近端设置进水管，所述槽体远端设置出水管。

进一步的，所述计数装置为按键计数器。

进一步的，所述清洗槽加液控制装置还包括显示屏，所述显示屏与控制器连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果如下：

本实用新型的清洗槽加液控制装置工作时，每次将花篮放入框架中，花篮的固定板压住计数装置的按钮触发一次计数，控制器接收计数装置的计数信息，当计数达到设置值时，控制器控制电子阀打开，储药箱通过管道向槽体内加药，结构简单，无需人工操作，加药工作效率高。

附图说明

图1示出了本实用新型实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置的正视结构示意图。

图2示出了本实用新型实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置的俯视结构示意图。