[实用新型]镀膜机靶位移动挡板组件

说明书

本申请涉及镀膜设备技术领域，公开了镀膜机靶位移动挡板组件。本申请中包括底座、镀膜机主体、回转内筒、防护罩和防护板，镀膜机主体的内侧壁上开设有多个靶位，防护罩的上表面开设有卡槽，且防护罩的卡槽内部表面固定连接有电磁铁，电磁铁的上表面吸附在镀膜机主体的内壁顶部，防护罩的内部表面卡接有电动伸缩杆，防护板的上表面开设有凹槽，且电动伸缩杆的输出端通过螺丝固定连接在防护板的凹槽内部，通过启动电磁铁将防护罩的上表面吸附固定在镀膜机主体的内壁顶部，使得该挡板组件在安装的过程中不会对镀膜机主体的内部造成损坏，因此在一定程度上提高镀膜机主体的使用寿命。

技术领域

本申请属于镀膜设备技术领域，具体为镀膜机靶位移动挡板组件。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，镀膜机在进行镀膜时，一般不会只镀一层膜，而是多层，不同种类的膜。

现有的真空镀膜机内部放置有多个靶位，当真空镀膜机在使用的过程中需要用到移动挡板组件对未进行使用的靶位进行遮挡，当现有的移动挡板组件安装在真空镀膜机内部时需要用到紧固件进行安装，在多次安装移动挡板组件的过程中容易造成真空镀膜机的内壁产生损坏，因此我们需要一种镀膜机靶位移动挡板组件，来解决的问题。

实用新型内容

本申请的目的在于：为了解决上述提出现有的移动挡板组件安装在真空镀膜机内部时需要用到紧固件进行安装，在多次安装移动挡板组件的过程中容易造成真空镀膜机的内壁产生损坏的问题，提供镀膜机靶位移动挡板组件。

本申请采用的技术方案如下：

镀膜机靶位移动挡板组件，包括底座、镀膜机主体、回转内筒、防护罩和防护板，所述镀膜机主体的内侧壁上开设有多个靶位，所述防护罩的上表面开设有卡槽，且所述防护罩的卡槽内部表面固定连接有电磁铁，所述电磁铁的上表面吸附在所述镀膜机主体的内壁顶部，所述防护罩的内部表面卡接有电动伸缩杆，所述防护板的上表面开设有凹槽，且所述电动伸缩杆的输出端通过螺丝固定连接在所述防护板的凹槽内部，且所述防护板的位置位于所述回转内筒和所述镀膜机主体的内壁之间。

通过采用上述技术方案，通过启动电磁铁将防护罩的上表面吸附固定在镀膜机主体的内壁顶部，使得该挡板组件在安装的过程中不会对镀膜机主体的内部造成损坏，因此在一定程度上提高镀膜机主体的使用寿命。

在一优选的实施方式中，所述防护罩远离所述防护板的一端设置有消磁板。

通过采用上述技术方案，通过消磁板对电磁铁在使用过程中向电动伸缩杆传播的磁力进行阻挡，从而尽量避免电磁铁在使用的过程中影响电动伸缩杆进行正常使用。

在一优选的实施方式中，所述电磁铁远离所述消磁板的一侧粘接有防护垫。

通过采用上述技术方案，通过防护垫对电磁铁裸露在外的部分进行防护，从而尽量避免电磁铁在遭受撞击后产生损坏。

在一优选的实施方式中，所述螺丝的端部焊接有把手。

通过采用上述技术方案，通过转动把手带动螺丝进行转动，使得工作人员无需依靠工具即可安装拆卸螺丝，因此在一定程度上提高工作人员的安装效率。

在一优选的实施方式中，所述防护板的凹槽内径和所述防护罩的外径相适配。

通过采用上述技术方案，通过启动电动伸缩杆带动防护板向上进行移动，将防护板的凹槽内部表面卡接在防护罩的外表面，使得防护罩对防护板凹槽的内部进行防护，从而尽量避免灰尘进入防护板的凹槽内部。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本申请的有益效果是：