[实用新型]一种高纯度气体发生器

权利要求书

1.一种高纯度气体发生器，包括外箱(1)、储水罐(3)、电解槽(4)、气液分离器(5)和混和干燥管(6)，其特征在于：所述外箱(1)内通过隔板(2)分割成储液腔、电解腔、提纯腔和散热腔，所述隔板(2)为隔热材料制成，所述储水罐(3)安装在储水腔内，所述电解槽(4)安装在电解腔内，所述气液分离器(5)和干燥管(6)安装在提纯腔内，所述干燥管(6)末端安装有排气管(7)，所述排气管(7)端部伸出外箱(1)，所述散热腔内设置有散热机构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种高纯度气体发生器，其特征在于，所述散热机构(8)包括散热孔(83)和风机(82)，所述散热孔(83)开设在散热腔外侧壁中间位置，所述风机(82)固定连接在散热腔内侧壁，所述散热腔和电解腔之间固定连接有导热板(86)，所述导热板(86)穿过提纯腔下方隔板(2)且与隔板(2)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种高纯度气体发生器，其特征在于，所述导热板(86)位于电解腔内一端固定连接有吸热板(87)，所述导热板(86)位于散热腔一端固定连接有散热套(85)。

4.根据权利要求3所述的一种高纯度气体发生器，其特征在于，所述散热套(85)为环状结构，且内部均匀设有凸起，风机(82)位于散热套(85)内侧。

5.根据权利要求2所述的一种高纯度气体发生器，其特征在于，所述散热腔内且位于风机(82)前侧设有散热水管(81)，所述散热水管(81)两端均穿过个隔板(2)且分别安装在气液分离器(5)的进水口和出水口。

6.根据权利要求2所述的一种高纯度气体发生器，其特征在于，所述散热孔(83)内固定连接有防尘网(84)。

7.根据权利要求1所述的一种高纯度气体发生器，其特征在于，所述储液腔上端且与储水罐(3)开口相对应位置开设有注水孔(9)，所述储水罐(3)和电解槽(4)之间以及电解槽(4)和气液分离器(5)之间均安装有相适配的管路。