[实用新型]一种微细结构抛光系统

权利要求书

1.一种微细结构抛光系统，其特征在于，包括：

辊筒模具，所述辊筒模具表面设置有微细结构；

驱动装置，与所述辊筒模具连接，为所述辊筒模具提供旋转驱动力，使得所述辊筒模具旋转运动；

超声波发生槽，设置在所述辊筒模具下方，用于盛放清洗液或抛光液；超声波发生器，设置在所述超声波发生槽内，提供超声波。

2.根据权利要求1所述微细结构抛光系统，其特征在于，还包括超声波控制器，控制所述超声波发生器。

3.根据权利要求1所述微细结构抛光系统，其特征在于，所述驱动装置为旋转伺服电机，通过所述旋转伺服电机为所述辊筒模具提供旋转驱动力。

4.根据权利要求1所述微细结构抛光系统，其特征在于，所述超声波发生槽包括护壳和料槽，所述护壳包裹所述料槽，且所述护壳和所述料槽之间具有一定空间，所述超声波发生器设置在所述空间内。

5.根据权利要求4所述微细结构抛光系统，其特征在于，所述料槽为开口朝上的倒梯形结构，所述护壳为开口朝上的长方体结构。

6.根据权利要求1或4所述微细结构抛光系统，其特征在于，所述超声波发生器为多个，且呈均匀分布。

7.根据权利要求1所述微细结构抛光系统，其特征在于，还包括加热管，所述加热管靠近所述超声波发生槽底部，且位于所述超声波发生器的上方。

8.根据权利要求1所述微细结构抛光系统，其特征在于，还包括振动装置，设置在所述辊筒模具远离所述驱动装置的一侧，与所述辊筒模具连接，为所述辊筒模具提供轴向振动和径向振动。

9.根据权利要求7所述微细结构抛光系统，其特征在于，还包括轴向补偿联轴器，设置在所述驱动装置和所述辊筒模具之间，用于补偿所述辊筒模具由振动引起的轴向窜动。

10.根据权利要求1所述微细结构抛光系统，其特征在于，还包括支架，用于支撑、限位所述辊筒模具。