[实用新型]一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置

说明书

本实用新型公开一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，包括隔温套、气缸、润滑油箱和固定柱，本实用新型通过设置有隔温套，隔温套底部设置有安装盘，安装盘顶部开设有一圈螺丝孔，通过螺丝将隔温套安装后，低温泵气缸位于隔温套内部，隔温套外壁设置有回流盒，回流盒内部与隔温套内部连通，当气缸工作时，隔温套对气缸与外界温度进行隔离，同时气缸产生的温度在回流盒内部进行回流，保证了使用时产生低温导致温度不稳定。

技术领域

本实用新型涉及低温泵技术领域，具体为一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。在半导体低温泵设备中，低温泵气缸在使用中会有低温，导致温度不稳定，这就需要增加气缸温度隔离装置。

实用新型内容

本部分的目的在于概述本实用新型的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。

鉴于上述和/或现有一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置中存在的问题，提出了本实用新型。

因此，本实用新型的目的是提供一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，通过设置有隔温套，隔温套底部设置有安装盘，安装盘顶部开设有一圈螺丝孔，通过螺丝将隔温套安装后，低温泵气缸位于隔温套内部，隔温套外壁设置有回流盒，回流盒内部与隔温套内部连通，当气缸工作时，隔温套对气缸与外界温度进行隔离，同时气缸产生的温度在回流盒内部进行回流，保证了使用时产生低温导致温度不稳定。

为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：

一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，其包括：

隔温套，所述隔温套侧壁安装有回流盒，所述回流盒内部与所述隔温套内部连通，所述隔温套底部安装有固定盘，所述固定盘顶部开设有螺丝孔；

气缸，所述气缸位于所述隔温套内部，所述气缸顶部安装有气缸杆。

作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置的一种优选方案，其中，所述气缸杆杆身安装有固定板，所述固定板外圈伸出设置有延伸板。

作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置的一种优选方案，其中，还包括润滑油箱，所述润滑油箱侧壁安装有第一软管，所述第一软管杆身安装有第一单向阀，所述润滑油箱侧壁安装有观测窗。

作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置的一种优选方案，其中，还包括固定柱，所述固定柱位于所述固定盘顶部，所述固定柱顶部开设有气压腔，所述气压腔内部安装有活塞板，所述活塞板顶部安装有移动杆，所述移动杆伸出所述固定柱顶部并与所述延伸板底部连接，所述第一软管另一端伸入所述气压腔内部。

作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置的一种优选方案，其中，所述固定柱外壁安装有第二软管，所述第二软管杆身安装有第二单向阀。

作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置的一种优选方案，其中，所述隔温套顶部安装有第二固定板，所述第二软管另一端贯穿伸出所述第二固定板顶部并安装有喷头。

与现有技术相比：通过设置有隔温套，隔温套底部设置有安装盘，安装盘顶部开设有一圈螺丝孔，通过螺丝将隔温套安装后，低温泵气缸位于隔温套内部，隔温套外壁设置有回流盒，回流盒内部与隔温套内部连通，当气缸工作时，隔温套对气缸与外界温度进行隔离，同时气缸产生的温度在回流盒内部进行回流，保证了使用时产生低温导致温度不稳定。