[实用新型]一种三重四极杆质谱仪

权利要求书

1.一种三重四极杆质谱仪，其特征在于，包括壳体、底板、离子源、质量分析器和检测器，所述壳体和底板形成用于容纳离子源、质量分析器和检测器的容置腔，所述三重四极杆质谱仪还包括与底板相连的第一安装结构，所述第一安装结构与所述底板之间形成第一腔体。

2.如权利要求1所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述三重四极杆质谱仪还包括真空管路及排废管路组件，所述真空管路及排废管路安装在所述第一腔体内，所述真空管路与机械泵的输入端相连，所述排废管路与离子源腔体的输出端相连。

3.如权利要求1或2所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述质谱仪还包括供电电源组件，所述供电电源组件安装在所述第一安装结构上，所述供电电源组件包括开关电源、变压器、电源滤波器和工控机，所述开关电源、电源滤波器和工控机均与变压器相连。

4.如权利要求3所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述质谱仪还包括第二安装结构和气路控制组件，所述第二安装结构固定在所述第一安装结构背离所述底板一侧的外表面上，所述第二安装结构与所述第一安装结构形成第二腔体，所述气路控制组件设置在所述第二安装结构上。

5.如权利要求4所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述开关电源放置在所述第二腔体中。

6.如权利要求1、2、4任意一项所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述第一安装结构为类U形，包括具有开孔的侧面，所述开孔至少为1个。

7.如权利要求4或5所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述气路控制组件包括依次安装在所述第二安装结构背离所述底板一侧的外表面上的流量计组件、比例阀控制组件、气体分流组件和第三安装结构，所述流量计组件的入口与比例阀控制组件的出口相接，所述比例阀控制组件的入口与气体分流组件的出口相接。

8.如权利要求7所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述气路控制组件还包括针阀和调压阀，所述针阀设置在所述比例阀控制件组件上，所述针阀的出口与所述比例阀制件组件的入口相连，所述调压阀安装在第三安装结构上，所述调压阀的出口与针阀的入口相连。

9.如权利要求1所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述底板上还安装有电路模块，所述电路模块包括电路主控组件、谐振腔组件和高压电源组件；

所述谐振腔组件包括第一谐振腔组件和第二谐振腔组件，分别安装在所述电路主控组件两侧；所述高压电源组件包括第一高压电源和第二高压电源，分别安装在所述谐振腔组件外侧。

10.如权利要求1、2、4、5任意一项所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述质谱仪还包括泵组件。

11.如权利要求1、2、4、5任意一项所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述质谱仪还包括气压检测装置，所述气压检测装置安装在所述质量分析器上，用于检测真空气压，所述气压检测装置选自倒磁控管真空计和皮拉尼规。

12.如权利要求1、2、4、5任意一项所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述壳体上设置有散热组件和外部接口组件。

13.如权利要求12所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述散热组件和外部接口组件安装在壳体同一侧。

14.如权利要求1、2、4、5任意一项所述的三重四极杆质谱仪，其特征在于，所述质谱仪还包括进气组件和散热通道，所述进气组件通过散热通道与散热组件相连通。