[实用新型]一种密封环

说明书

本实用新型公开一种密封环，涉及半导体密封技术领域，以解决现有密封环密封性能差的问题。一种密封环，所述密封环为环状结构，所述密封环的内侧面设置有环形凹槽以及内侧密封线，所述环形凹槽沿所述内侧密封线周向设置；所述内侧密封线为所述环形凹槽的中线；所述密封环受挤压的两端与待密封件形成线密封。本实用新型提供的密封环用于提高现有密封环的密封性能。

技术领域

本实用新型涉及半导体密封技术领域，尤其涉及一种密封环。

背景技术

密封环是一种带有缺口的环状密封件，靠被压拢后所具有的弹性而抵紧在静止件的内孔壁上起密封作用。

现有密封环一般是将凹槽设置在外侧，由于凹槽开口朝外，密封环的上下两端受挤压向中间靠拢时，不会产生弹性变形，只能依靠材料本身的弹性起到密封作用，密封效果差，且由于不能产生弹性变形，传统的密封环往往使用寿命短。然而半导体行业对密封环的要求很高，密封性能的优劣往往会决定产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封环，用于解决现有密封环密封性能差的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

本实用新型提供了一种密封环，所述密封环为环状结构，所述密封环的内侧面设置有环形凹槽以及内侧密封线，所述环形凹槽沿所述内侧密封线周向设置；所述内侧密封线为所述环形凹槽的中线；所述密封环受挤压的两端与待密封件形成线密封。

可选的，所述密封环的横截面为C型。

可选的，所述密封环的外侧面设置有两个环形凹陷以及外侧密封线，两个所述环形凹陷距离所述外侧密封线的距离值相等。

可选的，所述外侧密封线与所述内侧密封线对应设置。

可选的，两个所述环形凹陷的深度小于所述环形凹槽的深度。

可选的，所述密封环为一体成型。

可选的，所述密封环沿所述内侧密封线轴向对称。

可选的，所述密封环的材料为361L不锈钢或361Ti不锈钢。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种密封环，所述密封环为环状结构，所述密封环的内侧面设置有环形凹槽以及内侧密封线，所述环形凹槽沿所述内侧密封线周向设置；所述内侧密封线为所述环形凹槽的中线；所述密封环受挤压的两端与待密封件形成线密封。通过密封环内侧面设置的环形凹槽，当气压越大时，凹槽内气压增大，材料受挤压沿内侧密封线向外扩张，会得到更大的密封比压，使密封环的密封性能提高，同时密封环受挤压的两端与待密封件形成线密封可以增加密封可靠性。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型提供的一种密封环立体结构图；

图2为本实用新型提供的部分密封环的正视图；

图3为本实用新型提供的部分密封环的后视图；

图4为本实用新型提供的一种密封环与待密封件装配后的剖视图。

附图标记：

1-环形凹槽，2-内侧密封线，3-第一端面密封线，4-第二端面密封线，5-第一环形凹陷，6-第二环形凹陷，7-外侧密封线，8-第一压块，9-第二压块，10-垫片。

具体实施方式