[实用新型]一种密封环

说明书

本实用新型公开一种密封环，涉及半导体密封技术领域，以解决现有密封环密封效果较差的问题。所述密封环为环状结构，密封环包括内环体和外环体，内环体和外环体沿密封环的径向分布，且内环体和外环体连接；内环体上设置有第一环形凹槽，第一环形凹槽的开口朝向密封环的轴线，内环体的两端与待密封件抵接并形成第一密封线；外环体上设置有第二环形凹槽，第二环形凹槽的开口背离密封环的轴线，外环体的两端与待密封件抵接并形成第二密封线。本实用新型提供的密封环用于提高其密封性能。

技术领域

本实用新型涉及半导体密封技术领域，尤其涉及一种密封环。

背景技术

密封环是一种带有缺口的环状密封件，设置在待密封件的凹槽中，靠被压拢后发生一定的弹性形变而抵紧在待密封件的凹槽的上、下壁和侧壁上而起密封作用。

在半导体密封领域中，密封环多采用金属材料，一般是将环形凹槽设置在外侧，且安装至待密封件的凹槽中时，保证密封环处于被压缩状态，进而使密封环的端面和待密封件的凹槽的上、下壁抵紧，进而起到密封作用。

但是，在流道通入气体后，在气压作用下，密封环的上下两端受挤压后会向中间靠拢，导致密封环被压缩，密封环远离待密封件的凹槽的上、下壁，导致密封环和待密封件的凹槽的上、下壁抵接处的密封效果较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封环，用于提高其密封性。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种密封环，密封环为环状结构，密封环包括内环体和外环体，内环体和外环体沿密封环的径向分布，且内环体和外环体连接；

内环体上设置有第一环形凹槽，第一环形凹槽的开口朝向密封环的轴线，内环体的两端与待密封件抵接并形成第一密封线；

外环体上设置有第二环形凹槽，第二环形凹槽的开口背离密封环的轴线，外环体的两端与待密封件抵接并形成第二密封线。

相较于现有技术，本实用新型提供的密封环包括内环体，内环体上设置有第一环形凹槽，当气压越大时，凹槽内气压增大，内环体受到作用力后产生沿第一环形凹槽的中线轴向外扩张的弹性变形，使内环体的两端分别与第一待密封件和第二待密封件抵接处贴合更加紧密，增强该处的密封效果；同时，内环体对外环体产生一定的作用力，外环体受到作用力后产生沿第二环形凹槽的中线轴向外扩张的弹性变形，使外环体的两端分别与第一待密封件和第二待密封件抵接处贴合更加紧密，增强该处的密封效果，进而进一步提高密封环的密封性。另外，在振动工况下，径向交变应力变大，相较于现有技术中只设置一个环形凹槽的密封环，本实用新型提供的密封环的内环体和外环体均能发生形变，增大了密封环的弹性极限，进而增大了密封环的屈服极限，能够适用于径向交变应力更大的情况，提高密封环的使用寿命。基于此，本实用新型提供的密封环能够增强密封环的密封性，同时，能够提高密封环的使用寿命。

可选的，上述的密封环沿径向方向的截面为X型。

可选的，上述的密封环中，内环体沿径向方向的截面和外环体沿径向方向的截面的形状镜像对称。

可选的，上述的密封环中，第一环形凹槽和第二环形凹槽的最大深度相同；

和/或，第一环形凹槽和第二环形凹槽的开口端的宽度相同。

可选的，上述的密封环中，内环体沿第一环形凹槽的中线轴向对称；外环体沿第二环形凹槽的中线轴向对称。

可选的，上述的密封环中，内环体靠近外环体的侧面上设置有两个第一环形凹陷，两个第一环形凹陷距离第一环形凹槽的中线的垂直距离相等；

和/或，外环体靠近内环体的侧面上设置有两个第二环形凹陷，两个第二环形凹陷距离第二环形凹槽的中线的垂直距离相等。

可选的，上述的密封环为一体化结构。

可选的，上述的密封环的材料为弹性金属材料。