[实用新型]一种密封环

说明书

本实用新型公开一种密封环，涉及半导体密封技术领域，以解决现有密封环密封效果较差的问题。所述密封环为环状结构，密封环包括至少一个第一环体部和至少一个第二环体部，第一环体部和第二环体部沿密封环的轴线方向分布，且相邻的第一环体部和第二环体部连接；第一环体部上设置有第一环形凹槽，第一环形凹槽的开口朝向密封环的轴线，第一环体部远离密封环的轴线的一端与待密封件抵接并形成第一密封线；第二环体部上设置有第二环形凹槽，第二环形凹槽的开口背离密封环的轴线；密封环的两端与待密封件抵接并形成第二密封线。本实用新型提供的密封环用于提高其密封性能。

技术领域

本实用新型涉及半导体密封技术领域，尤其涉及一种密封环。

背景技术

密封环是一种带有缺口的环状密封件，设置在待密封件的凹槽中，靠被压拢后发生一定的弹性形变而抵紧在待密封件的凹槽的上、下壁和侧壁上而起密封作用。

在半导体密封领域中，密封环多采用金属材料，一般是将环形凹槽设置在外侧，且安装至待密封件的凹槽中时，保证密封环处于被压缩状态，进而使密封环的端面和待密封件的凹槽的上、下壁抵紧，进而起到密封作用。

但是，在流道通入气体后，在气压作用下，密封环的上下两端受挤压后会向中间靠拢，导致密封环被压缩，密封环远离待密封件的凹槽的上、下壁，导致密封环和待密封件的凹槽的上、下壁抵接处的密封效果较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封环，用于提高其密封性能。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种密封环，密封环为环状结构，密封环包括至少一个第一环体部和至少一个第二环体部，第一环体部和第二环体部沿密封环的轴线方向分布，且相邻的第一环体部和第二环体部连接；

第一环体部上设置有第一环形凹槽，第一环形凹槽的开口朝向密封环的轴线，第一环体部远离密封环的轴线的一端与待密封件抵接并形成第一密封线；

第二环体部上设置有第二环形凹槽，第二环形凹槽的开口背离密封环的轴线；

密封环的两端与待密封件抵接并形成第二密封线。

与现有技术相比，本实用新型提供的密封环包括第一环体部，第一环体部上设置有第一环形凹槽，当气压越大时，第一环形凹槽内气压增大，第一环体部的两端受到的作用力方向相反，第一环体部产生沿第一环形凹槽最深处向外扩张的弹性变形，使第一环体部的一端与第二待密封件抵接处贴合更加紧密，增强该处的密封效果；第一环体部的另一端对第二环体部作用有使第二环体部远离第一环体部的作用力，进而使得第二环体部的一端与第一待密封件抵接处贴合更加紧密，增强该处的密封效果；同时，第一环体部远离密封环的轴线的一端在气压作用下与第一待密封件的第二待密封件连接处抵接，形成第二密封线，进一步保证密封环的密封性；另外，在振动工况下，轴向交变应力变大，相较于现有技术中只设置一个环形凹槽的密封环，本实用新型提供的密封环的第一环体部和第二环体部均能发生形变，增大了密封环的弹性极限，进而增大了密封环的屈服极限，能够适用于轴向交变应力更大的情况，提高密封环的使用寿命。基于此，本实用新型提供的密封环能够增强密封环的密封性，同时，能够提高密封环的使用寿命。

可选地，上述的密封环中，第一环体部和第二环体部的数目均为1个，密封环沿径向方向的截面为S型。

可选地，上述的密封环中，第一环体部沿径向方向的截面的形状和第二环体部沿径向方向的截面的形状中心对称。

可选地，上述的密封环为一体化结构。

可选地，上述的密封环中，第一环形凹槽和第二环形凹槽的最大深度相同。

可选地，上述的密封环中，第一环形凹槽和第二环形凹槽的开口端的宽度相同。

可选地，上述的密封环中，密封环的材料为弹性金属材料。