[实用新型]一种排气管道

说明书

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种排气管道；包括喷淋箱、进气管和刮除模块，进气管与喷淋箱相连通，进气管具有出气口，刮除模块包括驱动组件、驱动轴、螺旋板和刮除板，驱动组件与喷淋箱固定连接，驱动轴与驱动组件固定连接，并位于喷淋箱的内部，螺旋板与驱动轴固定连接，且螺旋板贴合于进气管的内侧壁，刮除板与喷淋箱固定连接，且刮除板与螺旋板的外侧壁相贴合，通过螺旋板转动，对进气管的内侧壁进行刮除，直至将粘附于进气管内侧壁的废气颗粒排出进气管，获得避免废气颗粒堆积在进气管中，造成排气管堵塞，影响废气排放效率的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种排气管道。

背景技术

半导体制配过程中会产生酸碱气体以及其他有机废气，这样的气体排放到空气中会污染空气，危害人体的健康，甚至会产生爆炸，对工人的人身安全带来影响。

现有技术中CN211659604U公开了一种半导体生产加工中废气处理系统，将半导体加工产生的废气通过进气管运输至喷淋箱内进行降尘处理，处理后再进行排放。

但上述结构中，废气颗粒堆积在进气管中，容易造成排气管堵塞，影响废气排放效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种排气管道，解决了废气颗粒堆积在进气管中，容易造成排气管堵塞，影响废气排放效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的一种排气管道，包括喷淋箱、进气管和刮除模块，所述进气管与所述喷淋箱相连通，所述进气管具有出气口，所述刮除模块包括驱动组件、驱动轴、螺旋板和刮除板，所述驱动组件与所述喷淋箱固定连接，所述驱动轴与所述驱动组件固定连接，并位于所述喷淋箱的内部，所述螺旋板与所述驱动轴固定连接，且所述螺旋板贴合于所述进气管的内侧壁，所述刮除板与所述喷淋箱固定连接，且所述刮除板与所述螺旋板的外侧壁相贴合。

其中，所述刮除模块还包括引导板，所述引导板与所述刮除板固定连接，并位于所述刮除板的外侧壁。

其中，所述驱动组件包括驱动电机和变速机，所述驱动电机与所述喷淋箱固定连接，并位于所述喷淋箱的外侧壁，且所述驱动电机的输出端贯穿所述喷淋箱，所述变速机与所述驱动电机的输出端固定连接，所述驱动轴与所述变速机的输出端固定连接。

其中，所述刮除模块还包括电动推杆、安装座和穿刺组件，所述电动推杆与所述喷淋箱固定连接，并位于所述喷淋箱的内侧壁，所述安装座与所述电动推杆的输出端固定连接，所述穿刺组件与所述安装座固定连接，且所述穿刺组件与所述出气口相适配。

其中，所述穿刺组件包括安装柱和穿刺头，所述安装柱与所述安装座固定连接，并位于所述安装座的外侧壁，所述穿刺头与所述安装柱固定连接，且所述穿刺头与所述出气口相适配。

其中，所述刮除模块还包括第一限位块和第二限位块，所述第一限位块与所述安装柱固定连接，并位于所述安装柱的外侧壁，所述第二限位块与所述进气管固定连接，并位于所述第一限位块的上方。

本实用新型的一种排气管道，半导体加工产生的废气通过所述进气管运输至所述喷淋箱内进行降尘处理，废气流通的过程中，废气颗粒粘附于所述进气管的内侧壁，启动所述驱动组件运作，带动所述驱动轴转动，此时所述螺旋板转动，对所述进气管的内侧壁进行刮除，所述螺旋板在转动的过程中将废气颗粒进行运输，直至将粘附于所述进气管内侧壁的废气颗粒排出所述进气管，获得避免废气颗粒堆积在所述进气管中，造成所述进气管堵塞，影响废气排放效率的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型第一实施例的整体的结构示意图。