[实用新型]一种带凹槽结构的树脂研磨垫

说明书

本实用新型涉及研磨垫技术领域，且公开了一种带凹槽结构的树脂研磨垫，包括基层和表面层，所述表面层相抵设置于基层的上表面，所述基层的下表面相抵设置有底层，所述表面层的上表面开设有多个凹槽，所述基层的下表面两侧和底层的上表面两侧均开设有空腔，所述基层的两侧两端均固定设置有插杆，多个所述插杆的外侧一端均延伸至对应的空腔的内部，多个所述插杆的两侧壁均固定设置有弹性片，多个所述弹性片的一端均与对应的空腔的内壁相抵触，多个所述空腔的侧壁均开设有安装槽，多个所述安装槽的内部均设有推动机构。本实用新型能够对研磨垫磨损的部位进行单独更换，能够大大减少材料的浪费，降低更换成本。

技术领域

本实用新型涉及研磨垫技术领域，尤其涉及一种带凹槽结构的树脂研磨垫。

背景技术

研磨垫是用于半导体晶圆、显示器用玻璃基板、硬盘用机板等半导体零件、电子零件的制造制程中辅助研磨工作，在研磨步骤中，将研磨垫固定于研磨装置后，将晶圆等被研磨构件朝研磨垫挤压，于供给研磨浆料的同时，使两者相对地滑动以进行研磨，现有的树脂研磨垫通常通过在表面设置凹槽，能够有效的存续研磨液，保证研磨液充分利用。

传统的带凹槽结构的树脂研磨垫通常为一体式设计，当其表面被磨损后，整个研磨垫便失去作用，需要对整个研磨垫进行更换，非常浪费材料。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中带凹槽结构的树脂研磨垫通常为一体式设计，当其表面被磨损后，整个研磨垫便失去作用，需要对整个研磨垫进行更换，非常浪费材料的问题，而提出的一种带凹槽结构的树脂研磨垫。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种带凹槽结构的树脂研磨垫，包括基层和表面层，所述表面层相抵设置于基层的上表面，所述基层的下表面相抵设置有底层，所述表面层的上表面开设有多个凹槽，所述基层的下表面两侧和底层的上表面两侧均开设有空腔，所述基层的两侧两端均固定设置有插杆，多个所述插杆的外侧一端均延伸至对应的空腔的内部，多个所述插杆的两侧壁均固定设置有弹性片，多个所述弹性片的一端均与对应的空腔的内壁相抵触，多个所述空腔的侧壁均开设有安装槽，多个所述安装槽的内部均设有推动机构。

优选的，所述推动机构包括推板和固定壳，所述安装槽的内部设置有拉杆，所述拉杆的下端延伸至安装槽的外侧，所述推板固定设置于拉杆的上端，所述固定壳设置于插杆的正上方，所述固定壳的上端与推板固定连接，所述拉杆的杆壁活动套接有弹簧，所述弹簧的两端分别与对应的推板和安装槽的内壁固定连接。

优选的，多个所述拉杆的外侧一端均固定连接有拉环。

优选的，多个所述推板的两侧均与对应的安装槽的内壁相抵触。

优选的，所述表面层的上表面涂有耐磨涂层。

优选的，多个所述弹性片均为记忆金属片。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种带凹槽结构的树脂研磨垫，具备以下有益效果：

该带凹槽结构的树脂研磨垫，通过拉动两侧拉杆，使得推板带动对应的固定壳向插杆方向移动，使得固定壳套在插杆的外部，即能够将插杆两侧的弹性片与插杆外壁抵紧，此时，即可将插杆从空腔内拉出，即能够解除表面层与基层之间的限位，即对研磨垫磨损的部位进行单独更换，能够大大减少材料的浪费，降低更换成本。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型能够对研磨垫磨损的部位进行单独更换，能够大大减少材料的浪费，降低更换成本。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种带凹槽结构的树脂研磨垫的结构示意图；

图2为图1的前视剖视结构示意图；

图3为图2中局部A部分的结构放大示意图。