[实用新型]用于溅射设备的磁体系统以及溅射设备有效
| 申请号： | 202222868210.5 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN218939591U | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | K·施耐德;G·格罗斯;T·桑德;R·豪斯瓦尔德 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 王珺;李文颖 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 溅射 设备 磁体 系统 以及 | ||
1.一种用于溅射设备(300)的磁体系统(100)，其特征在于，所述磁体系统(100)包括：
壳体(406g)，所述壳体具有壳体内部空间(406h)；
磁体载体(102)，所述磁体载体设置在所述壳体内部空间(406h)中并且借助于所述壳体(406g)支撑；
除湿设备，所述除湿设备邻接于所述壳体内部空间(406h)或设置在所述壳体内部空间中，用于对所述壳体内部空间(406h)进行除湿。
2.根据权利要求1所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述磁体载体(102)设置在所述壳体内部空间(406h)中并且借助于所述壳体(406g)以相对于所述壳体位置固定的方式支撑。
3.根据权利要求1所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述除湿设备具有冷却阱(408)。
4.根据权利要求3所述的磁体系统(100)，其特征在于，还包括：
流体接口，该流体接口与所述冷却阱(408)耦联，用于对所述冷却阱(408)供应冷却流体。
5.根据权利要求1所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述除湿设备具有吸湿材料。
6.根据权利要求1所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述除湿设备具有两个流体接口，该两个流体接口借助于所述壳体内部空间(406h)以彼此引导流体的方式连接。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的磁体系统(100)，其特征在于，还包括：
多个磁体，所述磁体借助于磁体支架保持在所述壳体内部空间(406h)中。
8.一种用于溅射设备(300)的磁体系统(100)，其特征在于，所述磁体系统(100)包括：
壳体(406g)，所述壳体具有壳体内部空间(406h)；
磁体载体(102)，所述磁体载体设置在所述壳体内部空间(406h)中并且借助于所述壳体(406g)支撑；
贫水流体，所述贫水流体设置在所述壳体内部空间(406h)中并且所述磁体载体(102)至少部分地嵌入所述贫水流体中。
9.根据权利要求8所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述磁体载体(102)设置在所述壳体内部空间(406h)中并且借助于所述壳体(406g)以相对于所述壳体位置固定的方式支撑。
10.根据权利要求8或9所述的磁体系统(100)，其特征在于，还包括：
多个磁体，所述磁体借助于磁体支架保持在所述壳体内部空间(406h)中。
11.一种用于溅射设备(300)的磁体系统(100)，其特征在于，所述磁体系统(100)包括：
壳体(406g)，所述壳体具有壳体内部空间(406h)；
磁体载体(102)，所述磁体载体设置在所述壳体内部空间(406h)中并且借助于所述壳体(406g)支撑；
电路，所述电路设置在所述壳体内部空间(406h)中并且以水密封方式封装。
12.根据权利要求11所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述磁体载体(102)设置在所述壳体内部空间(406h)中并且借助于所述壳体(406g)以相对于所述壳体位置固定的方式支撑。
13.根据权利要求11或12所述的磁体系统(100)，其特征在于，还包括：
多个磁体，所述磁体借助于磁体支架保持在所述壳体内部空间(406h)中。
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