[实用新型]一种晶圆转运装置

说明书

本实用新型涉及一种晶圆转运装置，包括：机座；升降装置，升降装置安装在机座上；旋转装置，旋转装置安装在机座上；伸缩装置，伸缩装置安装在旋转装置上；及陶瓷托盘，陶瓷托盘为长条形，陶瓷托盘的顶面设有转运槽，侧面设有避位插槽，避位插槽与转运槽相通，陶瓷托盘的一端固定在伸缩装置上；其中，升降装置用于带动陶瓷托盘升降，旋转装置用于带动陶瓷托盘转动，伸缩装置用于带动陶瓷托盘移动，晶圆位于转运槽内。本实用新型提供的一种晶圆转运装置通过采用陶瓷托盘使用寿命长，并且通过避位插槽缩小了托盘的大小，通过升降装置、旋转装置和伸缩装置实现晶圆的转运，结构紧凑、体积小、运行稳定、可靠。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆生产设备，尤其是一种晶圆转运装置。

背景技术

为了减小设备的占用空间，生产晶圆的设备之间的距离较小，尤其是相邻工序的之间的设备，既能减少占用的空间，同时能够减少转运的时间，但是如何实现较小空间的晶圆转运是亟待解决的问题，同时现有的金属托盘在转运晶圆时容易污染晶圆，并且宽度较大，容易与支撑晶圆的支撑柱发生干涉。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种结构紧凑、体积小、不易污染晶圆、不易与支撑柱干涉的一种晶圆转运装置，具体技术方案为：

一种晶圆转运装置，包括：机座；升降装置，所述升降装置安装在所述机座上；旋转装置，所述旋转装置安装在所述机座上；伸缩装置，所述伸缩装置安装在所述旋转装置上；及陶瓷托盘，所述陶瓷托盘为长条形，所述陶瓷托盘的顶面设有转运槽，侧面设有避位插槽，所述避位插槽与所述转运槽相通，所述陶瓷托盘的一端固定在所述伸缩装置上；其中，所述升降装置用于带动所述陶瓷托盘升降，所述旋转装置用于带动所述陶瓷托盘转动，所述伸缩装置用于带动所述陶瓷托盘移动，晶圆位于所述转运槽内。

优选的，所述转运槽的底部设有下沉槽，所述下沉槽与所述转运槽相通。

优选的，所述陶瓷托盘的端部设有插入圆弧面。

优选的，所述伸缩装置包括：伸缩底板，所述伸缩底板固定在所述旋转装置上；伸缩电机，所述伸缩电机安装在所述伸缩底板的一端；带传动装置，所述带传动装置与所述伸缩电机连接；及伸缩座，所述伸缩座滑动安装在所述伸缩底板上，且与所述带传动装置连接，所述陶瓷托盘安装在所述伸缩座上。

进一步的，还包括：连接板，所述连接板安装在所述伸缩座顶部的连接块上，所述陶瓷托盘安装在所述连接板上；及伸缩罩壳，所述伸缩罩壳安装在所述伸缩底板上，所述伸缩罩壳的顶部设有伸缩孔，所述连接块活动插在所述伸缩孔内，所述连接板位于所述伸缩罩壳的顶部。

优选的，所述旋转装置包括：中空旋转平台，所述中空旋转平台安装在所述升降装置上；旋转环座，所述旋转环座安装在所述中空旋转平台的转盘上；旋转升降筒，所述旋转升降筒安装在所述旋转环座上，且与所述伸缩底板连接；及旋转电机，所述旋转电机安装在所述中空旋转平台上。

其中，所述伸缩底板上设有上过线孔，所述上过线孔与所述旋转升降筒相通。

优选的，所述升降装置包括：升降直线模组，所述升降直线模组安装在所述机座上，所述旋转装置安装在所述升降直线模组的升降滑台上；及升降电机，所述升降电机安装在所述升降直线模组的一端。

优选的，所述机座包括：上顶板；下底板，所述下底板与所述上顶板相对设置；连接立柱，所述连接立柱不少于三个，所述连接立柱的两端分别与所述上顶板和下底板连接；固定架，所述固定架安装在所述上顶板上，所述升降装置安装在所述固定架上；及防护罩壳，所述防护罩壳安装在所述上顶板和所述下底板上。

进一步的，还包括散热风扇，所述散热风扇安装在所述下底板的散热孔上。

与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果：