[实用新型]一种探针治具以及设备

权利要求书

1.一种探针治具，其特征在于，包括：

承载组件；

若干探针座，所述若干探针座可移动地设置在所述承载组件上，各所述探针座分别用于安装探针；

移栽组件，所述移栽组件用于选择性地与所述若干探针座中的目标探针座建立连接并对所述目标探针座进行位置调整，以调整所述目标探针座与所述若干探针座中的至少部分其他探针座之间的距离。

2.根据权利要求1所述的探针治具，其特征在于，所述承载组件包括承载本体以及至少两个第一承载梁，所述至少两个第一承载梁的长度方向与第一方向平行，所述至少两个第一承载梁并沿与所述第一方向交叉设置的第二方向可移动地并排设置在所述承载本体上，所述若干探针座设置成沿所述第一方向和所述第二方向呈行列式排列，其中同一行内的所述探针座与同一所述第一承载梁连接，所述移栽组件包括第一子移栽组件，所述第一子移栽组件用于与所述至少两个第一承载梁中的第一目标承载梁建立连接，并沿所述第二方向对所述第一目标承载梁以及所述第一目标承载梁所连接的所述探针座进行位置调整，所述第一目标承载梁为与所述目标探针座连接的第一承载梁。

3.根据权利要求2所述的探针治具，其特征在于，所述承载组件还包括至少两个第二承载梁，所述至少两个第二承载梁的长度方向与第二方向平行，所述至少两个第二承载梁并沿所述第一方向可移动地并排设置在所述承载本体上，同一列内的所述探针座与同一所述第二承载梁连接，所述探针座设置成能够沿所述第一方向相对于所连接的第一承载梁进行移动，并沿所述第二方向相对于所连接的第二承载梁进行移动，所述移栽组件还包括第二子移栽组件，所述第二子移栽组件用于与所述至少两个第二承载梁中的第二目标承载梁建立连接，并沿所述第一方向对所述第二目标承载梁以及所述第二目标承载梁所连接的所述探针座进行位置调整，所述第二目标承载梁为与所述目标探针座连接的第二承载梁。

4.根据权利要求3所述的探针治具，其特征在于，所述第一子移栽组件的数量为两组，并沿所述第一方向设置于所述至少两个第一承载梁的相对两侧，两组所述第一子移栽组件中的至少部分第一子移栽组件设置成能够同时与同一所述第一承载梁的两端建立连接，并同步对所连接的所述第一承载梁进行位置调整，并且/或者两组所述第一子移栽组件中的至少部分第一子移栽组件设置成能够分别与不同所述第一承载梁建立连接，并分别对所连接的所述第一承载梁进行位置调整；或者

所述第二子移栽组件的数量为两组，并沿所述第二方向设置于所述至少两个第二承载梁的相对两侧，两组所述第二子移栽组件中的至少部分第二子移栽组件设置成能够同时与同一所述第二承载梁的两端建立连接，并同步对所连接的所述第二承载梁进行位置调整，并且/或者两组所述第二子移栽组件中的至少部分第二子移栽组件设置成能够分别与不同所述第二承载梁建立连接，并分别对所连接的所述第二承载梁进行位置调整。

5.根据权利要求3所述的探针治具，其特征在于，所述探针座具有沿垂直于所述第一方向和第二方向的第三方向彼此相背设置的第一支撑面和第二支撑面，所述第一支撑面与所述第一承载梁滑动连接，所述第二支撑面与所述第二承载梁滑动连接。

6.根据权利要求1所述的探针治具，其特征在于，所述移栽组件包括移动机构和连接机构，所述移动机构设置成移动所述连接机构靠近所述目标探针座，所述连接机构设置成在靠近所述目标探针座后与能够带动所述目标探针座同步移动的连接部建立连接，所述移动机构还设置成在所述连接机构与所述连接部建立连接后，通过移动所述连接机构对所述目标探针座进行位置调整，所述连接机构设置成在所述目标探针座的位置调整之后，解除与所述连接部之间的连接。

7.根据权利要求6所述的探针治具，其特征在于，所述连接机构包括第一气缸以及插销，所述连接部上开设有插槽，所述第一气缸设置成传动所述插销插入所述插槽，进而在所述连接机构与所述连接部之间建立连接，所述第一气缸还设置成传动所述插销移出所述插槽，进而解除所述连接机构与所述连接部之间的连接。