[实用新型]掩膜版台车

说明书

本实用新型公开一种掩膜版台车，包括车架和设在车架顶部的平台，平台沿第一方向的相对两侧分别设有第一限位件和第二限位件，第一限位件设有第一驱动件，第一驱动件用于驱使第一限位件选择性阻挡掩模版，平台沿第二方向的相对两侧均设有第三限位件，第二方向和第一方向垂直，第三限位件包括支撑杆和第一滚轮，支撑杆的一端与平台连接，另一端与第一滚轮连接，第一滚轮用于抵接掩模版沿所述第二方向的相对两侧。本实用新型的掩膜版台车通过第一限位件、第二限位件和第三限位件能够阻挡掩模版沿水平方向移动，而且第一限位件能够升降，以使掩模版能够沿第一方向放置到平台上，并与第一滚轮滚动滑动，从而避免掩模版发生偏移而干涉第一限位件升降。

技术领域

本实用新型涉及输送设备技术领域，尤其涉及一种掩膜版台车。

背景技术

在光学元件的生产过程中，通常使用掩膜版台车对掩模版(mask)进行搬运，以实现掩模版在各个工位之间流转。掩模版放置在掩膜版台车上，由于掩膜版台车和掩模版的体型大、重量重，在掩膜版台车在工位停靠时，车上的掩模版在惯性作用下会发生移动，具有较大的安全隐患。因此，参照图1所示，现有的掩膜版台车包括车架1′和设置于车架顶部的平台2′，平台2′沿搬运方向的相对两端上设置有限位件3′，限位件3′能够选择性阻挡掩模版，但是在掩膜版台车转弯时，车上的掩模版还是会朝向垂直于搬运方向的发生移动，还是存在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种掩膜版台车，其结构简单，能够有效地防止掩模版在搬运过程中因惯性而发生移动。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种掩膜版台车，包括车架和设置在所述车架顶部的平台，所述平台沿第一方向的相对两侧分别设置有第一限位件和第二限位件，所述第一限位件与第一驱动件连接，所述第一驱动件用于驱使所述第一限位件选择性阻挡掩模版，所述平台沿第二方向的相对两侧均设置有第三限位件，所述第二方向和所述第一方向垂直，所述第三限位件包括支撑杆和第一滚轮，所述支撑杆的一端与所述平台连接，另一端与所述第一滚轮连接，所述第一滚轮用于抵接所述掩模版沿所述第二方向的相对两侧。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述平台的顶部设置有多个第二滚轮，所有所述第二滚轮用于使所述掩模版沿所述第一方向放置到所述平台上。

作为掩膜版台车的一种优选方案，还包括控制器，所述平台上设置有第一检测件，所述第一检测件用于检测所述掩模版在所述平台上的位置，所述第一检测件和所述第一驱动件均与所述控制器连接。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述车架设置有驱动机构，所述车架的底部设置有第三滚轮，所述驱动机构与所述第三滚轮连接，以驱使所述第三滚轮转动。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述车架上还设置有电源，所述电源与所述驱动机构连接，所述车架设置有安装槽，所述安装槽内设置有减震机构，所述减震机构包括缓冲板和弹性组件，所述弹性组件设置在所述安装槽的槽底和所述缓冲板之间，所述电源设置在所述缓冲板远离所述弹性组件的一侧面上。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述减震机构还包括多个第一弹性件，所述安装槽至少两个相对的槽壁上设置有所述第一弹性件，所述第一弹性件抵紧所述电源。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述车架包括底板和支撑件，所述支撑件的一端与所述底板连接，另一端与所述平台连接，以使所述底板和所述平台沿竖直方向间隔设置，所述电源设置在所述底板朝向所述平台的一侧。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述平台朝向所述底板的一侧设置有升降机构和防护罩，所述升降机构包括第三驱动件和升降杆，所述升降杆的一端与所述第三驱动件连接，另一端与所述防护罩连接，驱使所述防护罩沿竖直移动以罩设于所述电源外。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述平台朝向所述底板的一侧还设置有第二检测件，所述第二检测件用于检测所述电源是否着火。