[实用新型]一种固化炉用步进机构有效
| 申请号： | 202222949809.1 | 申请日： | 2022-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN218827024U | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 向军 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 陈章 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固化 步进 机构 | ||
1.一种固化炉用步进机构，包括步进装置、水平驱动装置、竖向驱动装置、用于给所述水平驱动装置和所述竖向驱动装置起导向作用的导向装置，其特征在于：所述步进装置包括步进架（1）、设置在所述步进架（1）一端的左步进座（2）、设置在所述步进架（1）另一端的右步进座（3）、设置在所述左步进座（2）和所述右步进座（3）上的钢索（4）；
所述水平驱动装置可驱动所述步进架（1）左右移动，从而驱动设置在所述左步进座（2）和所述右步进座（3）上的钢索（4）左右移动；
所述竖向驱动装置可驱动所述步进架（1）上下移动，从而驱动设置在所述左步进座（2）和所述右步进座（3）上的钢索（4）上下移动。
2.根据权利要求1所述的一种固化炉用步进机构，其特征在于：所述水平驱动装置包括步进螺母（5）、穿设在所述步进螺母（5）中的步进丝杆（6）、设置在所述步进丝杆（6）一端的步进电机（7）。
3.根据权利要求1所述的一种固化炉用步进机构，其特征在于：所述竖向驱动装置包括设置在所述步进架（1）下方的偏心电机（8）、套设在所述偏心电机（8）的输出轴上的偏心轮（9）；
所述步进架（1）的下方设有连接板（10），所述连接板（10）的下端穿设有固定销（11），所述固定销（11）上套设有位于所述偏心轮（9）上方的推轮（12）；
所述偏心电机（8）可驱动所述偏心轮（9）转动从而顶升或下降所述推轮（12），进而顶升或下降安装在所述左步进座（2）和所述右步进座（3）上的钢索（4）。
4.根据权利要求2所述的一种固化炉用步进机构，其特征在于：所述导向装置包括水平导向装置和竖直导向装置；
所述竖直导向装置包括设置在所述步进架（1）上的上导套（13）、穿设在所述上导套（13）中的导柱（14）、套设在所述导柱（14）下端的下导套（15）、固定在所述下导套（15）底端且与所述步进螺母（5）固定连接的滑块（16）；
所述水平导向装置包括穿设在所述滑块（16）中且与所述步进丝杆（6）平行设置的导杆（17）、设置在所述导杆（17）两端的端块（18）。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
