[实用新型]一种低温等离子体发生器

权利要求书

1.一种低温等离子体发生器，其特征在于，包括：机体(100)，所述机体(100)包括外壳(110)、设置于外壳(110)内部的电离箱(120)和安装于电离箱(120)内部的低温等离子发生机构(130)；

冷冻空气干燥机(200)，所述冷冻空气干燥机(200)的出气口连通有送气泵(220)，所述送气泵(220)的出气口与电离箱(120)的进气口连通；

过滤室(300)，所述过滤室(300)与冷冻空气干燥机(200)的进气口连通，所述过滤室(300)的内部设置有颗粒过滤组件(320)。

2.根据权利要求1所述的一种低温等离子体发生器，其特征在于，所述电离箱(120)的进气口设置有与送气泵(220)连通的管道接头(111)，所述外壳(110)的出气口设置有防尘网。

3.根据权利要求2所述的一种低温等离子体发生器，其特征在于，所述冷冻空气干燥机(200)的出气口连通有送气管(210)，所述送气管(210)与送气泵(220)的进气口连通。

4.根据权利要求3所述的一种低温等离子体发生器，其特征在于，所述过滤室(300)的顶部设置有盖板(310)，所述盖板(310)的侧壁设置有进气管(311)。

5.根据权利要求4所述的一种低温等离子体发生器，其特征在于，所述颗粒过滤组件(320)包括设置于过滤室(300)内部的筛网(321)、设置于筛网(321)底部的过滤网(322)和设置于过滤网(322)底部的无纺布层(323)。