[实用新型]一种双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备

权利要求书

1.一种双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，包括：

相互平行设置的两条用于传输料盘的传送流水线，沿料盘传送方向依次设置的上料单元、测高机构、视觉检测机构、激光标定机构、人工干预单元以及收料单元；所述上料单元及收料单元与所述传送流水线配合完成晶片的上料和下料，所述测高机构用于检测料盘内晶片的位置并传送晶片的位置信息至所述视觉检测机构，所述视觉检测机构用于拍照检测料盘内晶片是否存在不良品，当所述视觉检测机构检测到晶片为不良品时，所述激光标定机构形成十字光标用于标记不良品晶片的位置，以便于在人工干预单元对不良品晶片进行剔除。

2.根据权利要求1所述的双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述上料单元包括设置于传送流水线支架上的上料仓、滑动设置于送流水线支架上的用于承托所述料盘的托盘支架、用于推动托盘支架运动的推送气缸以及设置于上料仓下方用于顶起料盘的第一顶升机构，所述传送流水线支架上设置有托盘承板，所述托盘承板上设置有第一导轨，所述托盘支架与所述第一导轨滑动连接且与推送气缸的输出端相连接。

3.根据权利要求2所述的双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述托盘承板为“U”字型结构，所述料盘侧面设置有与所述托盘支架相配合的托举缺口，两组所述托盘承板在所述推送气缸的带动下做相向运动以托举多层所述料盘。

4.根据权利要求1所述的双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述上料仓由对称设置于传送流水线支架上的四根“L”型立板合围形成。

5.根据权利要求1所述的双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述测高机构包括跨设于传送流水线支架上的测高支架、设置于测高支架上的两条第二直线导轨、设置于两条第二直线导轨之间的传动齿条、步进电机以及激光位移传感器，所述步进电机的电机轴上设置有与所述传动齿条相啮合的传动齿轮，所述步进电机设置于电机安装板上，所述电机安装板的两端分别与第二直线导轨上的滑块相连接，所述激光位移传感器设置于电机安装板的侧边用于检测料盘内晶片的高度。

6.根据权利要求1所述的双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述视觉检测机构包括跨设于两条传送流水线上方的龙门架、设置于龙门架上的直线模组以及两组与直线模组上的滑块相连接的视觉组件安装板，所述视觉组件安装板上设置有相机高度调节机构，所述相机高度调节机构上安装有CCD相机，所述视觉组件安装板上设置有与CCD相机相配合的同轴光源和环形光源。

7.根据权利要求1所述的双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述激光标定机构包括设置于两条传送流水线之间的安装支架，所述安装支架的两臂上分别设置有激光标记组件，所述激光标记组件包括设置于安装支架一臂上的安装底板、竖直设置于安装底板上的X向电机安装板、Y向电机安装板以及相互垂直设置于安装底板上的X向偏转电机、Y向偏转电机，所述X向偏转电机的电机轴上锁紧有X向联轴器，所述X向联轴器贯穿X向电机安装板且前端延伸至安装底板外，所述X向电机安装板上设置有X向零点传感器，所述X向联轴器的前端安装有X向一字线激光器以及与X向零点传感器相配合的X向零点感应片；所述Y向偏转电机的电机轴上锁紧有Y向联轴器，所述Y向联轴器贯穿Y向电机安装板且前端延伸至安装底板外，所述Y向电机安装板上设置有Y向零点传感器，所述Y向联轴器的前端安装有Y向一字线激光器以及与Y向零点传感器相配合的Y向零点感应片。

8.根据权利要求7所述的双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述X向一字线激光器射出的激光线与所述X向联轴器相平行，所述Y向一字线激光器射出的激光线与所述Y向联轴器相平行，所述X向一字线激光器射出的激光线与所述Y向一字线激光器射出的激光线形成十字交叉线以指示料盘中所需处理产品的位置。

9.根据权利要求1所述的双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述人工干预单元的下方设置有用于顶起料盘的第二顶升机构。

10.根据权利要求1所述的双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述收料单元包括设置于传送流水线支架上的下料仓，位于下料仓两侧的四组翻板托块以及位于下料仓下方的第三顶升机构，所述传送流水线支架上设置有旋转座，所述翻板托块的后端与旋转座通过转轴旋转连接，所述翻板托块的前端与流水线支架相接触且延伸出流水线支架外以承托所述第三顶升机构顶起的料盘。