[实用新型]一种激光蚀刻机的传送机构有效

专利信息
申请号: 202222958001.X 申请日: 2022-11-08
公开(公告)号: CN218396562U 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 张霖芝;眭朝萍;田帅 申请(专利权)人: 苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司
主分类号: B23K26/70 分类号: B23K26/70;B23K26/362
代理公司: 北京鼎云升知识产权代理事务所(普通合伙) 11495 代理人: 王升兰
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 蚀刻 传送 机构
【权利要求书】:

1.一种激光蚀刻机的传送机构,包括支架(1),其特征在于:所述支架(1)的底面四周均固定安装有支脚(12),所述支架(1)的底面左端开设有凹槽(11),所述支架(1)的左端外壁固定安装有固定块一(13),所述支架(1)的底面固定安装有安装块(14),所述支架(1)的底面右端设有蚀刻头(15),所述支架(1)的底面设有移动块(2)。

2.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻机的传送机构,其特征在于:所述移动块(2)的顶端固定安装有限位块(21),所述限位块(21)的外壁贴合凹槽(11)的内壁,所述移动块(2)的底面右端固定安装有伸缩杆(26)。

3.根据权利要求2所述的一种激光蚀刻机的传送机构,其特征在于:所述伸缩杆(26)远离移动块(2)的一端固定安装有移动板(24),所述移动板(24)设为空心,所述移动板(24)的底面固定安装有吸盘(25),所述吸盘(25)与移动板(24)连接处相通。

4.根据权利要求2所述的一种激光蚀刻机的传送机构,其特征在于:所述移动块(2)的底面左端固定安装有气泵(22),所述气泵(22)上固定安装有导管(23),所述导管(23)远离气泵(22)的一端固定安装在移动板(24)的顶面上。

5.根据权利要求2所述的一种激光蚀刻机的传送机构,其特征在于:所述移动块(2)上螺纹连接有螺纹杆(27),所述螺纹杆(27)的右端转动连接在安装块(14)上,所述螺纹杆(27)的左端固定安装有伺服电机一(28)。

6.根据权利要求5所述的一种激光蚀刻机的传送机构,其特征在于:所述螺纹杆(27)的左端固定安装在伺服电机一(28)的输出端上,所述伺服电机一(28)镶嵌在固定块一(13)的内部。

7.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻机的传送机构,其特征在于:所述支架(1)的右端下方设有工作台(3),所述工作台(3)的外壁上固定安装有固定块二(31),所述固定块二(31)的内壁镶嵌安装有伺服电机二(32)。

8.根据权利要求7所述的一种激光蚀刻机的传送机构,其特征在于:所述伺服电机二(32)的输出端上固定安装有转动杆(33),所述转动杆(33)远离伺服电机二(32)的一端穿过工作台(3)的外壁。

9.根据权利要求8所述的一种激光蚀刻机的传送机构,其特征在于:所述转动杆(33)靠近工作台(3)处固定安装有稳定块(34),所述转动杆(33)上固定安装有橡胶滚筒(35)。

10.根据权利要求8所述的一种激光蚀刻机的传送机构,其特征在于:所述转动杆(33)远离伺服电机二(32)的一端固定安装有齿轮(36),所述齿轮(36)的外壁啮合连接传送链条(37),所述齿轮(36)之间通过传送链条(37)连接。

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