[实用新型]一种加热器

说明书

本实用新型公开了一种加热器，形成有进液通道和出液通道，穿设有电源线，加热器还包括：加热容器，具有开口端，内腔设有加热丝；盖部件，密封连接于加热容器；定位空心管，一端与进液通道相连，以向加热容器内输送流体，另一端延伸至加热容器的内底部，其外周套设有带穿丝孔的加热丝定位板，加热丝沿定位空心管的轴向延伸并穿过穿丝孔；定位空心管外周还设有至少两个分隔支撑件，其与加热丝定位板交替布置，相邻分隔支撑件对加热丝定位板形成夹持支撑。本实用新型利用加热丝定位板对加热丝形成约束作用，避免其卷曲缠绕，对液体加热充分；利用分隔支撑件对加热丝定位板两侧形成稳固的夹持支撑，不会损坏定位空心管致其脱节散落。

技术领域

本实用新型属于加热器技术领域，尤其是涉及一种加热器。

背景技术

在半导体制造过程中，诸如超纯水(DIW)、硫酸、磷酸、盐酸、硝酸和氢氟酸的化学药品(以下简称为“化学药品”)被用作清洁化学药品、蚀刻化学药品和显影化学药品。这些化学药品被加热到一定温度以具有化学活性，并用于半导体制造过程中。因此，近年来，广泛使用与单独的处理设备内联并且立即在每个处理设备内加热和供应化学药品至所需温度的嵌入式加热器。

现有技术中专利号为CN212457380U名称为“一种铁氟龙加热器”，参考专利文件中的附图1、附图2、附图6，该加热器公开了由铁氟龙材料制成的主体2和设于主体2内的由铁氟龙材料制成的定位杆4，主体2设有进水口12和出水口11；定位杆4包括与进水口12连通的内流道41和设于主体2内的外流道42，外流道42连通内流道41和出水口11，加热器还包括设于外流道42内的表面包覆铁氟龙薄膜的加热丝5，沿定位杆4的轴向方向间隔套设在定位杆4上的不少于2个的加热丝定位板6。在使用时，待加热的水从进水口12进入到主体2内与加热丝5接触并从出水口11流出，水经过加热丝5加热升温，水在加热的过程中均与铁氟龙材质相接触，从而不会产生金属离子，保证了水的纯度，进而解决了现有技术中的高温水清洗晶片造成的良品率低的缺陷。上述结构虽然在定位杆4轴向上套设有至少两个加热丝定位板6，但是定位杆4是由多个定位管之间互相通过螺纹组装而成的，也就是说下方定位管43的外螺纹段431和上方定位管43的内螺纹段432进行螺纹连接，由于外螺纹段431的外径小于定位管43的外径，加热丝定位板6的中心孔与外螺纹段431大小适配，安装加热丝定位板6时先将加热丝定位板6通过中心孔配设在外螺纹431的底部位置处，因此，加热丝定位板6能够卡接在外螺纹段431与定位管43形成的凸台处，由于外螺纹段431和内螺纹段432之间的连接是非密封螺纹，因而密封性差，这会导致少量待加热的液体从定位管43之间的连接处漏出，这些漏出的液体无法充分与加热丝5接触加热。此外，定位杆4底部往上流动的液体在经过加热丝定位板6时会对加热丝定位板6施加一定往上的力，加热丝定位板6受力作用磨损外螺纹段431往上略微位移，容易造成定位管43之间脱节，而且定位杆4由越多节位管43组合成会使得定位杆4的强度降低。

现有技术中专利号为KR101546178B1，名称为“半导体制造工艺用于加热化学品的在线加热器”，参考专利文件中的附图1、附图2、附图4，该加热器公开了由氟树脂材料制成的容器41、连通设置于容器41顶部由氟树脂材料制成的壳体1和设于容器41内腔的加热丝33，加热丝33表面设有由氟树脂材料制成的包覆层。壳体1的一端设置有用于可将待加热的液体通入到容器41内腔底部的进液管3，壳体1的另一端设置有与容器41内腔顶部连通的出液管5。壳体1上设有电线安装管7a、7b，其中，进液管3、出液管5和电线安装管7a、7b均由氟树脂材料制作一体成型在壳体1上，加热器还包括分别穿设于电线安装管7a、7b内用于与加热丝33电连接的电源线组件53a，53b，电源线组件53a，53b分别插设于电线安装管7a、7b中以保持气密性和水密性。上述结构中，电源线53a、53b在连接到加热丝33的位置处会受到已加热化学药品的接触，如果电源线53a和加热丝33连接处的密封性不佳，会导致化学药品进入电源线53a内，化学药品会接触腐蚀电源线外侧的绝缘橡胶层，进而化学药品会析出电源线丝里的金属离子以及加热丝33里的金属离子，析出的金属离子会污染加热的化学药品。因此，电源线和加热丝之间的连接密封性能好坏与否是至关重要的。

实用新型内容