[实用新型]一种切割状态检测机构

权利要求书

1.一种切割状态检测机构，作用于一切割件，其特征在于，所述切割状态检测机构包括：

基座；

进刀单元，所述进刀单元和基座之间可活动，且进刀单元可携带一晶棒沿第一方向向一切割件运动；以及

负载传感器，所述负载传感器设置在基座上；

其中，所述进刀单元以第二方向作用在负载传感器上，且第二方向和第一方向之间的夹角小于90度，通过负载传感器使得切割件相对于晶棒的形变状态被量化。

2.如权利要求1所述的一种切割状态检测机构，其特征在于，进刀单元包括：

承载座；

导轨组件，所述导轨组件设置在承载座和基座之间，以使得承载座和基座之间可活动；以及

传动组件，所述传动组件固定在基座上，传动组件和基座上的负载传感器接触，且所述传动组件连接并作用在承载座上，以驱动承载座相对于基座运动。

3.如权利要求2所述的一种切割状态检测机构，其特征在于，所述导轨组件包括：

导轨；

第一滑块，所述第一滑块和所述导轨之间滑动连接，其中，所述第一滑块固定设置在承载座或者基座上，且所述导轨对应地固定设置在所述基座或者承载座上。

4.如权利要求2所述的一种切割状态检测机构，其特征在于，承载座包括：

升降梁，所述升降梁和所述导轨组件连接；

夹紧装置，所述夹紧装置位于所述升降梁的下方，所述夹紧装置在升降梁的作用下可升降，所述夹紧装置可夹紧有一晶棒。

5.如权利要求2所述的一种切割状态检测机构，其特征在于，传动组件包括：

驱动源，所述驱动源包括：

电机，所述电机位于所述基座的上端面；

减速机，所述减速机和所述负载传感器的上端面连接，所述减速机的第一端和所述电机连接；

直线运动组件，所述直线运动组件和所述减速机的第二端连接，且所述直线运动组件连接并作用承载座，所述直线运动组件在所述驱动源的作用下驱动所述承载座相对于所述基座运动。

6.如权利要求5所述的一种切割状态检测机构，其特征在于，所述直线运动组件包括：

丝杠，所述丝杠的上端和驱动源连接，所述丝杠位于所述基座的下方，所述丝杠的下端贯穿所述承载座；

第二滑块，所述第二滑块和所述丝杠螺纹连接，且所述第二滑块和所述承载座固定连接，使得所述第二滑块带动所述承载座升降。

7.如权利要求1所述的一种切割状态检测机构，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向方向一致。

8.如权利要求5所述的一种切割状态检测机构，其特征在于，所述传感器套接所述直线运动组件，且所述传感器位于所述直线运动组件的外侧面，所述传感器的上端面和所述驱动源连接。

9.如权利要求2所述的一种切割状态检测机构，其特征在于，所述负载传感器连接有底座，所述底座中设有一凹槽，所述负载传感器位于所述凹槽中，所述底座的上端面和所述传动组件连接，所述底座的下端面和所述基座固定连接。

10.如权利要求9所述的一种切割状态检测机构，其特征在于，所述负载传感器为压力传感器。