[实用新型]一种设有防护结构的固定装置

说明书

本实用新型公开了一种设有防护结构的固定装置，包括底板，所述底板顶部的两侧安装有竖板，所述底板顶部的中间处安装有固定座，所述固定座的上方设置有靶材主体，所述固定座内部底端的两侧安装有阻尼柱。该设有防护结构的固定装置通过设置有靶材主体、移动板、支撑板、预留槽、导向杆和限位弹簧，加工时产生振动，移动板底部设有限位弹簧，利用限位弹簧来吸收震动，吸震过程中支撑板受力向下挤压移动板，使得移动板在预留槽内部频率移动，同时移动板在导向杆处竖直移动，连同阻尼柱，随着限位弹簧吸震的同时，其他部件频率运动，以此来抑制限位弹簧吸震后多余的跳跃，将加工产生的震动均匀分散在靶材主体上，解决的是不具备防护功能的问题。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工技术领域，具体为一种设有防护结构的固定装置。

背景技术

靶材是一种高速荷能粒子轰击的目标材料，根据不同功率密度、不同输出波形以及不同波长激光的要求可选择不同类型的溅射薄膜材料，靶材多用于半导体集成电路、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面，靶材加工时需要用到固定装置，对靶材定位固定，确保加工过程的稳定性，大多数的靶材用固定装置使用时仍然存在一些问题，加工产生的震动较大，震动对靶材带来的晃动较明显，因此对靶材的损耗较大，不具备防护功能，影响靶材使用的效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种设有防护结构的固定装置，以解决上述背景技术中提出的不具备防护功能的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种设有防护结构的固定装置，包括底板，所述底板顶部的两侧安装有竖板，所述底板顶部的中间处安装有固定座，所述固定座的上方设置有靶材主体，所述固定座内部底端的两侧安装有阻尼柱；

所述阻尼柱的顶部连接有移动板，所述阻尼柱的外部设置有限位弹簧，所述固定座内部的两侧开设有预留槽，所述移动板的顶部安装有固定架，所述固定架的顶部安装有支撑板，所述固定座内部底端的两侧竖向连接有导向杆。

优选的，所述导向杆的顶部穿过移动板内部，所述移动板的两侧连接在预留槽内部，所述支撑板的顶部位于在靶材主体底部。

优选的，所述竖板的内侧安装有伸缩气缸，所述伸缩气缸的伸缩端连接有限位座，所述限位座的底部固定连接有滑板，所述底板顶部靠近中间处的两侧开设有滑槽，所述限位座位于靶材主体的两侧。

优选的，所述滑板底部设置在滑槽内部，所述滑板和滑槽之间形成滑动连接。

优选的，所述限位座的顶部插接有定位螺杆，所述定位螺杆的顶部固定连接有调节旋钮，所述定位螺杆的底部通过转动块连接有定位垫板。

优选的，所述限位座对称设置有两组，所述限位座处于同一高度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该设有防护结构的固定装置具有防护结构，减少了震动带给靶材的晃动，并且具备快速定位功能，方便对产品定位，同时设有加固结构，避免产品加工时发生偏移或滑动；

(1)通过设置有靶材主体、移动板、支撑板、预留槽、导向杆和限位弹簧，使用时，靶材主体底部与支撑板接触，加工时产生振动，移动板底部设有限位弹簧，利用限位弹簧来吸收震动，吸震过程中支撑板受力向下挤压移动板，使得移动板在预留槽内部频率移动，同时移动板在导向杆处竖直移动，连同阻尼柱，随着限位弹簧吸震的同时，其他部件频率运动，以此来抑制限位弹簧吸震后多余的跳跃，将加工产生的震动均匀分散在靶材主体上，同时降低了靶材主体的晃动，提高了使用的寿命；

(2)通过设置有限位座、靶材主体、伸缩气缸、滑板和固定座，使用时，将靶材主体放在两组限位座之间，之后启动伸缩气缸，随着伸缩气缸的延伸带动限位座相向移动，靠近靶材主体的两侧，直至卡接在靶材主体的两侧，同时靶材主体位于支撑板顶部，限位座移动时滑板在固定座内部水平移动，确保限位座移动的稳定性，对靶材主体卡紧后伸缩气缸停止延伸，自动化效率较高，实现了快速夹紧的目的；