[实用新型]去除晶圆表面颗粒杂质的挑杂笔

权利要求书

1.一种去除晶圆表面颗粒杂质的挑杂笔，其特征在于：包括握持杆(1)、插接头(2)、对接组件(3)和挑杂毛(4)，所述插接头(2)连接于所述握持杆(1)的端部，所述对接组件(3)可拆卸连接于所述插接头(2)，所述挑杂毛(4)固定连接于所述对接组件(3)背离所述插接头(2)的端面。

2.根据权利要求1所述的去除晶圆表面颗粒杂质的挑杂笔，其特征在于：所述对接组件(3)包括连接壳(31)，所述连接壳(31)的一端封死，另一端开口，所述连接壳(31)的开口端可拆卸连接于所述握持杆(1)，所述连接壳(31)封死的端面开有插入口(311)；所述插接头(2)包括连接板(21)和插接杆(22)，所述插接杆(22)在所述连接板(21)上固定连接有两个，所述插接杆(22)远离所述连接板(21)的端部固定连接有压紧块(23)。

3.根据权利要求2所述的去除晶圆表面颗粒杂质的挑杂笔，其特征在于：所述握持杆(1)的端面固定连接有螺纹头(11)，所述连接壳(31)的开口端螺纹连接于所述螺纹头(11)。

4.根据权利要求1所述的去除晶圆表面颗粒杂质的挑杂笔，其特征在于：所述对接组件(3)包括安装板(32)和插销(33)，所述安装板(32)固定连接于所述握持杆(1)，所述安装板(32)背离所述握持杆(1)的端面开有插入孔(321)，所述安装板(32)的侧壁上开有与所述插入孔(321)相通的导入孔(322)，所述插销(33)的一端滑移在所述导入孔(322)内，所述导入孔(322)内设有促使所述插销(33)朝向所述插入孔(321)内移动的弹性件(35)；所述插接头(2)包括接合板(24)和连接杆(25)，所述连接杆(25)固定连接于所述接合板(24)，所述连接杆(25)进入所述插入孔(321)内，所述插销(33)抵触于所述连接杆(25)。

5.根据权利要求4所述的去除晶圆表面颗粒杂质的挑杂笔，其特征在于：所述插销(33)位于所述导入孔(322)外的杆身部位螺纹连接有调节螺母(36)。

6.根据权利要求4所述的去除晶圆表面颗粒杂质的挑杂笔，其特征在于：所述连接杆(25)上开有供所述插销(33)插入的对接槽(251)。

7.根据权利要求1所述的去除晶圆表面颗粒杂质的挑杂笔，其特征在于：所述握持杆(1)的杆身上开有握持环槽(12)。

8.根据权利要求7所述的去除晶圆表面颗粒杂质的挑杂笔，其特征在于：所述握持环槽(12)内固定有握持橡胶(13)。