[实用新型]基于X波段的低驱动电压的串联接触式射频MEMS开关

权利要求书

1.基于X波段的低驱动电压的串联接触式射频MEMS开关，其特征在于，包括接地层、衬底、绝缘层、信号线、驱动电极、可移动电极以及锚点；

其中，接地层、衬底以及绝缘层由下向上依次设置；

信号线、驱动电极以及锚点均设置于所述绝缘层的上表面上，且结构布置如下：

信号线包括沿第一方向对称设置的第一信号线以及第二信号线；

其中，第一方向为信号传输的方向；

驱动电极位于所述第一信号线与第二信号线的中间位置，且三者互不相连；

锚点包括在第二方向上关于所述驱动电极对称设置的第一锚点和第二锚点；其中，该第二方向为在水平方向上与所述第一方向垂直的方向；

可移动电极位于驱动电极的上方，且与驱动电极和信号线之间在竖直方向上存在间隙；

可移动电极包括中心梁以及关于该中心梁的中心点呈奇对称的两个弹簧弯曲结构；定义两个弹簧弯曲结构分别为第一弹簧弯曲结构和第二弹簧弯曲结构；

两个弹簧弯曲结构的内侧端分别连接至中心梁的一组相对角部，第一弹簧弯曲结构的外侧端以及第二弹簧弯曲结构的外侧端分别对应连接至第一锚点和第二锚点上。

2.根据权利要求1所述的串联接触式射频MEMS开关，其特征在于，

所述可移动电极与驱动电极在竖向上的间距大于可移动电极与信号线在竖向上的间距。

3.根据权利要求1所述的串联接触式射频MEMS开关，其特征在于，

所述中心梁采用镂空结构，即在中心梁上均布有阵列式的网孔。

4.根据权利要求1所述的串联接触式射频MEMS开关，其特征在于，

所述中心梁在沿第一方向上的两个相对边部分别设置一组第一触点；

每组第一触点有多个且各个第一触点均沿所述第二方向依次等间隔排列；

所述第一信号线靠近中心梁的一侧边部设置一组与第一触点相适应的第二触点，第二信号线靠近中心梁的一侧边部也设置一组与第一触点相适应的第二触点；

每组第二触点有多个且各个第二触点均沿所述第二方向依次等间隔排列；

当驱动电极上施加有驱动电压时，第一信号线上的第二触点以及第二信号线上的第二触点分别与中心梁上对应边部的一组第一触点接触连接，射频MEMS开关导通。

5.根据权利要求4所述的串联接触式射频MEMS开关，其特征在于，

每组所述第一触点中，由中间的第一触点向两侧的第一触点方向，宽度逐渐变窄；每组所述第二触点中，由中间的第二触点向两侧的第二触点方向，宽度逐渐变窄。

6.根据权利要求4所述的串联接触式射频MEMS开关，其特征在于，

每组所述第一触点和每组所述第二触点中第一触点和第二触点的数量相等，且在竖向上处于正对位置的第一触点与第二触点的尺寸相等。

7.根据权利要求6所述的串联接触式射频MEMS开关，其特征在于，

每组第一触点中第一触点的数量、每组第二触点中第二触点的数量均为四个。

8.根据权利要求1所述的串联接触式射频MEMS开关，其特征在于，

每个所述弹簧弯曲结构均对所述中心梁形成半包围结构；

每个所述弹簧弯曲结构均采用五段式结构，且任意相邻两段结构之间为垂直连接。