[实用新型]一种同时实现两种波段膜系的镀膜机

权利要求书

1.一种同时实现两种波段膜系的镀膜机，其特征在于，包括电子枪和坩埚，所述坩埚的上方自下而上依次设置有栅网、挡板、修正板和镀膜伞叶，所述镀膜伞叶的开口朝下，所述镀膜伞叶上设置有石英晶体膜厚控制仪和光学膜厚监控仪，所述修正板为椭圆形修正板，所述椭圆形修正板的长边的中间开设有两个对称于长轴的矩形孔；所述镀膜伞叶上设置有7圈由中心向外沿布设的待镀膜产品安装孔；所述修正板开设有矩形孔的部分的垂直投影覆盖第4圈安装孔，修正板的两端的垂直投影分别覆盖第1-3圈安装孔和第5-7圈安装孔。

2.根据权利要求1所述的一种同时实现两种波段膜系的镀膜机，其特征在于，所述石英晶体膜厚控制仪位于镀膜伞叶的顶部中心，用于监控最内圈镀膜产品的镀膜厚度；所述光学膜厚监控仪用于控制第4圈待镀膜产品的镀膜厚度。

3.根据权利要求1所述的一种同时实现两种波段膜系的镀膜机，其特征在于，所述栅网的网孔为长方形孔或腰型孔。

4.根据权利要求3所述的一种同时实现两种波段膜系的镀膜机，其特征在于，所述长方形孔的尺寸为7mm×3mm。

5.根据权利要求1所述的一种同时实现两种波段膜系的镀膜机，其特征在于，所述坩埚外套设有坩埚冷却装置。

6.根据权利要求1所述的一种同时实现两种波段膜系的镀膜机，其特征在于，所述椭圆形修正板采用304不锈钢制作。

7.根据权利要求1所述的一种同时实现两种波段膜系的镀膜机，其特征在于，所述栅网采用304不锈钢制作。