[实用新型]一种限位传输辊轴及硅片传输装置有效
| 申请号： | 202223051350.X | 申请日： | 2022-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN218631970U | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 王会;谭建辉;李运辉 | 申请（专利权）人： | 苏州南北深科智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 殷海霞 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 限位 传输 辊轴 硅片 装置 | ||
1.一种限位传输辊轴，其特征在于，包括：
轴杆，在所述轴杆的辊面上开设有键槽；
平键，设置在所述键槽中，与所述键槽间隙配合，所述平键与所述轴杆的材质相同；
支撑件，套设在所述轴杆上，所述支撑件与所述平键连接。
2.根据权利要求1所述的限位传输辊轴，其特征在于：沿所述轴杆的周向延伸方向，在所述轴杆的辊面上开设有多个键槽，多个所述键槽沿所述轴杆的周向延伸方向均匀分布设置。
3.根据权利要求1所述的限位传输辊轴，其特征在于：沿所述轴杆的轴向延伸方向，在所述轴杆的辊面上开设有多个键槽。
4.根据权利要求3所述的限位传输辊轴，其特征在于：沿所述轴杆的轴向延伸方向开设的多个键槽的尺寸不同。
5.根据权利要求1所述的限位传输辊轴，其特征在于：所述平键和所述支撑件的对应位置开设有螺纹孔，在所述螺纹孔中穿设有连接所述平键和所述支撑件的螺栓。
6.根据权利要求1所述的限位传输辊轴，其特征在于：所述支撑件为圆环状结构，所述支撑件套设在所述轴杆上，与所述轴杆同轴心设置，所述支撑件具有承载部和与承载部相接的限位部。
7.根据权利要求6所述的限位传输辊轴，其特征在于：所述承载部呈圆锥形结构，所述承载部具有倾斜的支撑面。
8.根据权利要求6所述的限位传输辊轴，其特征在于：在所述轴杆上至少设置两个支撑件，多个所述支撑件的承载部位于同一平面内形成支撑平面。
9.根据权利要求1所述的限位传输辊轴，其特征在于：所述支撑件采用陶瓷材料制成。
10.一种硅片传输装置，其特征在于：包括多个上述权利要求1～9任意一项所述的限位传输辊轴。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
