[实用新型]一种阻隔碳膜附着的装置

说明书

本实用新型公开了一种阻隔碳膜附着的装置，包括管道，所述管道的内部设置有残余碳膜吸附盘，所述残余碳膜吸附盘上方的管道通过轴承A和轴承B与管道转动连接，所述管道的顶端安装有气缸固定板，所述气缸固定板的顶部固定连接有摆动气缸，所述摆动气缸的底部设置有旋转固定板，所述摆动气缸的顶部一侧固定连接有固定杆，所述固定杆的另一端固定连接有旋转水接头。本实用新型装置采用的是金属密封和不锈钢制品，可在超高真空状态，以及高温环境下使用，不会对装置造成损坏；本实用新型有效阻隔碳分子，减少非必要镀膜区域成膜，减少清洗次数，减少维护时间，提高设备使用率，有效阻隔热源，标准法兰接口方便与其他设备对接。

技术领域

本实用新型涉及一种阻隔碳膜附着的装置，属于真空镀碳技术领域。

背景技术

碳支持膜，简称碳膜，是透射电子显微镜用来检测样品的专用载体，是在一层有机方华膜上再覆盖一层碳膜，主要应用于纳米材料、生物材料等微观物质的表征，是最常用的支持膜之一。

但现有技术中，无阻隔碳膜附着的装置于真空镀碳设备是在产品制备过程中碳分子会充满整个制品内部，结构简单，制造成本低。其中真空管道内部附着碳膜，不利于清洗，管道过热。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题，克服现有技术的不足之处，设计一种减少清洗次数，减少维护时间，提高设备使用率的阻隔碳膜附着的装置。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种阻隔碳膜附着的装置，包括管道，所述管道的内部设置有残余碳膜吸附盘，所述残余碳膜吸附盘上方的管道通过轴承A和轴承B与管道转动连接，所述管道的顶端安装有气缸固定板，所述气缸固定板的顶部固定连接有摆动气缸，所述摆动气缸的底部设置有旋转固定板，所述摆动气缸的顶部一侧固定连接有固定杆，所述固定杆的另一端固定连接有旋转水接头。

优选的，所述轴承A的顶端设置有轴承隔垫A，所述轴承B的下端设置有轴承隔垫B。

进一步优选的，所述轴承隔垫A的上方安装有骨架油封B，所述轴承隔垫B的下方安装有骨架油封A，所述骨架油封A和骨架油封B通过油封隔垫进行隔离。

优选的，所述残余碳膜吸附盘上方的水管穿过管道的上方，所述残余碳膜吸附盘上方的水管贯穿摆动气缸与旋转水接头固定连接。

进一步优选的，所述气缸固定板与管道的顶端转动连接，所述残余碳膜吸附盘与旋转固定板为固定连接。

进一步优选的，所述残余碳膜吸附盘的尺寸与管道内的尺寸相同，所述残余碳膜吸附盘与管道内部的接口处为密封的。

进一步优选的，所述轴承A和轴承B、轴承隔垫A和轴承隔垫B、骨架油封A和骨架油封B均是关于油封隔垫对称的。

本实用新型所达到的有益效果：

1、本实用新型装置采用的是金属密封和不锈钢制品，可在超高真空状态，以及高温环境下使用，不会对装置造成损坏；

2、本实用新型有效阻隔碳分子，减少非必要镀膜区域成膜，减少清洗次数，减少维护时间，提高设备使用率，有效阻隔热源，标准法兰接口方便与其他设备对接。

附图说明

图1给出本实用新型一种实施例的正视结构示意图；

图2为图1的侧视剖视结构示意图；

图3为图1的部分立体结构示意图；

图4为图2的A处放大结构示意图。

附图标记：1、管道；2、残余碳膜吸附盘；3、轴承A；4、轴承隔垫A；5、摆动气缸；6、固定杆；7、旋转水接头；8、旋转固定板；9、气缸固定板；10、轴承B；11、轴承隔垫B；12、骨架油封A；13、油封隔垫；14、骨架油封B。