[实用新型]一种凸轮式研磨机构及双面研磨机

说明书

本实用新型公开了一种凸轮式研磨机构及双面研磨机，其包括下研磨盘、凸轮、若干个研磨板、若干个从动轮、若干个弹性件和凸轮驱动组件，若干个研磨板沿凸轮的周向布置并滑动设置在下研磨盘上表面；从动轮转动设置在对应的研磨板的上表面，从动轮上开设有若干个放置孔；弹性用以对研磨板施加一平行于其轴线且朝向凸轮的预紧力。凸轮驱动组件能够驱动所述凸轮转动，以带动放置孔中的工件在研磨板上绕着从动轮的轴心作回转运动，从而实现对工件下表面的研磨工作；凸轮带动从动轮转动的同时与弹性件共同作用，推动研磨板沿自身轴线作往复移动，使得研磨的工件始终位于研磨板的上表面，避免工件绕着凸轮作圆周运动而无法对研磨后的工件进行区分和分拣。

技术领域

本实用新型涉及玻璃片加工设备技术领域，尤其涉及一种凸轮式研磨机构及双面研磨机。

背景技术

双面研磨/抛光机适用于半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料以及其它硬脆材料的双面高精度高效率的抛光加工设备。在抛光过程中需要向抛光区域注入循环水和抛光液，辅助抛光工作的进行。

申请号为202021385710.8的专利公开了一种凸轮式研磨机构及双面研磨机，其利用太阳齿轮驱动行星齿轮在太阳齿轮和内齿圈之间运动，以带动位于行星齿轮的放置孔中的工件相对上、下研磨盘运动，从而对工件进行研磨或抛光。

当需要对不同种类的工件(工件的外观相同，组分或材质不同)同时进行研磨时，由于研磨时行星齿轮会带着工件绕太阳齿轮作圆周运动，并且研磨后的工件表面粘附有抛光液，无法直接对工件进行区分，导致分拣困难。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述技术不足，提出一种凸轮式研磨机构及双面研磨机，解决现有技术中凸轮式研磨机构及双面研磨机在工作时工件会绕着太阳齿轮作圆周运动，并且研磨后的工件表面粘附有抛光液，无法直接对工件进行区分，导致分拣困难的技术问题。

为达到上述技术目的，本实用新型的技术方案提供一种凸轮式研磨机构,其包括：

下研磨盘；

凸轮，转动设置在所述下研磨盘上表面的中心位置；

若干个研磨板，沿所述凸轮的周向布置并滑动设置在所述下研磨盘的上表面；

若干个与所述研磨板一一对应的从动轮，转动设置在对应的所述研磨板的上表面，所述从动轮上开设有若干个放置孔；

若干个与所述研磨板一一对应的弹性件，所述弹性件的一端与对应的所述研磨板固定连接，另一端与所述下研磨盘的侧壁固定连接，以对所述研磨板施加一平行于其轴线且朝向所述凸轮的预紧力；

凸轮驱动组件，其输出端与所述凸轮的中心传动连接。

进一步的，所述下研磨盘的上表面沿所述凸轮的周向开设有若干个滑槽，所述研磨板滑动设置在对应的所述滑槽内。

进一步的，所述滑槽的底部开设有若干个排液孔，所述排液孔通过管路与外部的废液收集池连通。

进一步的，所述研磨板包括滑板及下研磨垫，所述滑板滑动设置在对应的所述滑槽内，所述下研磨垫固设于所述滑板的上表面。

进一步的，所述凸轮式研磨机构还包括连杆，所述连杆的一端与所述滑板的外端面固定连接，另一端从所述下研磨盘的侧壁活动穿出。

进一步的，所述弹性件为弹簧，所述弹簧活动套设于所述连杆远端的外表面，且所述弹簧的两端分别与所述连杆远端及所述下研磨盘的外侧壁固定连接。

进一步的，所述凸轮式研磨机构还包括固设于所述连杆远端的标识张贴块，用于张贴标识以对研磨的工件进行区分。