[实用新型]真空度调节装置

说明书

本实用新型公开了一种真空度调节装置，包括管道和连接室，管道的两端设置有开口，连接室具有内腔，管道贯穿连接室的内腔，管道位于内腔的周向上开设有与内腔连通的通槽，通槽内转动连接有转轴，转轴的轴向与管道的轴向相平行，转轴上设置有遮挡板，遮挡板设置于内腔中，连接室上设置有与转轴相连并驱动遮挡板转动的驱动件，遮挡板具有完全遮挡开口的关闭状态，以及部分遮挡或不遮挡开口的开启状态。该真空度调节装置能够避免转轴与管道内壁的相互磨损，减少宕机的情况发生。

技术领域

本实用新型涉及显示装置制造技术领域，尤其涉及一种真空度调节装置。

背景技术

在显示屏制造技术中，待加工的玻璃基板进入气相沉积设备的反应室中，反应室内部需维持在真空环境下进行作业，为了确保反应室内部的真空度含量处于合适的阈值范围，反应室内部设置有真空度检测仪，通过在与反应室连通的管道上设置与真空度检测仪连接的真空度调节装置，以实现对真空度的实时调控。

如图1所示，相关技术中，管体1＇的一端与反应室内部连通，管体1＇的另一端与抽真空装置连接，管体1＇的内壁上通过安装孔4＇转动连接有转杆2＇，转杆2＇的轴向与管体1＇的轴向相垂直，转杆2＇上设置有与管体1＇的内径大小相匹配的翻板3＇，驱动件驱动转杆2＇转动以实现翻板3＇的翻转，根据翻板3＇的翻转角度调节翻板3＇遮挡开口的遮挡面积，以此调控反应室内部抽真空时通过管体1＇的通过量。

相关技术存在以下缺陷：由于转杆2＇在转动时会与管体1＇内壁上的安装孔4＇相互磨损，时常出现宕机的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空度调节装置，避免转杆与管体内壁的安装孔相互磨损，减少宕机的情况发生。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供的真空度调节装置，包括管道和连接室，所述管道的两端设置有开口，所述连接室具有内腔，所述管道贯穿所述连接室的所述内腔，所述管道位于所述内腔的周向上开设有与所述内腔连通的通槽，所述通槽内转动连接有转轴，所述转轴的轴向与所述管道的轴向相平行，所述转轴上设置有遮挡板，所述连接室上设置有与所述转轴相连并驱动所述遮挡板转动的驱动件，所述遮挡板具有完全遮挡所述开口的关闭状态，以及部分遮挡或不遮挡所述开口的开启状态。

作为真空度调节装置的一种优选方案，所述管道的外侧壁部分与所述连接室的内壁连接，所述遮挡板的外侧壁部分与所述连接室的内壁相贴，所述转轴临近于所述遮挡板的外周壁上，所述转轴的轴向与所述连接室的轴向同轴设置。

作为真空度调节装置的一种优选方案，所述遮挡板的形状与所述管道的横截面的形状相同，所述遮挡板的遮挡面积大于或等于所述管道的横截面面积。

作为真空度调节装置的一种优选方案，所述驱动件包括设置于所述转轴周侧的第一从动齿轮，所述第一从动齿轮的周侧啮合有第一主动齿轮，所述连接室的外侧设置有与所述第一主动齿轮连接的第一驱动电机。

作为真空度调节装置的一种优选方案，所述遮挡板包括第一板和第二板，所述第一板和所述第二板的周侧连接在所述转轴上，所述驱动件分别驱动所述第一板和所述第二板转动。

作为真空度调节装置的一种优选方案，所述转轴包括同轴设置的第一段和第二段，所述第一段和所述第二段转动连接，所述第一段和所述第二段相互背离的一端分别与所述通槽的内壁转动连接，所述第一板连接在所述第一段上，所述第二板连接在所述第二段上，所述第一板和所述第二板沿所述管道的轴向方向错位设置，所述第一板的下表面与所述第二板的上表面相贴。

作为真空度调节装置的一种优选方案，所述驱动件包括设置于所述第一段周侧的第二从动齿轮，所述第二从动齿轮的周侧啮合有第二主动齿轮，所述连接室的外侧设置有与所述第二主动齿轮连接的第二驱动电机，所述第二段周侧设置有第三从动齿轮，所述第三从动齿轮的周侧啮合有第三主动齿轮，所述连接室的外侧设置有与所述第三主动齿轮连接的第三驱动电机。