[实用新型]一种用于晶圆探针调针的勾拉装置

说明书

本实用新型公开了一种用于晶圆探针调针的勾拉装置，包括针状主体，针状主体顶端设有凸出的勾拉块，勾拉块的上下两侧均设有勾拉槽，且勾拉槽的槽底为弧形结构。本实用新型利用勾拉部上的勾拉槽来调节探针的位置，圆弧槽勾拉探针时不会损伤探针，直接勾住前后调节的探针针尖，调整到合适位置即可，方便快捷，大大提高了调针效率，保证探针卡在晶圆检测中的精准性。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件测试技术领域，特别涉及一种用于晶圆探针调针的勾拉装置。

背景技术

晶圆在生产工艺中，需要进行各项检测，其中探针检测是一个必不可少的测试项目。探针测试是指用探针卡与晶圆上的压焊点接触以传输电信号，从而来判断晶圆上各个压焊点的工作情况。探针卡用于连接测试仪器与待测晶圆，探针卡是一种带有很多细针的印刷电路板，探针卡主要有基板和探针安装组成，探针卡上具有数量极多的探针。

探针卡制作时，有一步骤是对探针进行调针，调针工序中需要勾拉探针，使得所有探针保持齐平状态。由于没有专用工具，通常采用镊子来勾拉探针。由于探针很细小，使用镊子操作比较困难，对作业人员有极高的要求，同时镊子容易夹伤探针的针尖部位，容易将探针夹扁变形，甚至可能会夹断探针，增加额外的换针工序，导致探针卡的加工效率低下。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种用于晶圆探针调针的勾拉装置，操作方便，不会损伤探针，保证探针卡的加工效率。

为此，本实用新型的技术方案是：一种用于晶圆探针调针的勾拉装置，包括针状主体，针状主体顶端设有凸出的勾拉块，勾拉块的上下两侧均设有勾拉槽，且勾拉槽的槽底为弧形结构。

使用时，作业人员可以手握针状主体，利用勾拉槽来勾拉需要前后调节的探针，将所有探针调节到合适位置，保证探针卡上的所有探针与晶圆上的压焊点对齐，保证晶圆进行探针检测时的精准性。

优选地，所述针状主体的径向截面为圆形，针状主体从底端到顶端，其直径依次减小。由于两个探针的间距比较小，因此针状主体顶端的直径最小，且越细越好,方便勾拉块去勾拉探针。

优选地，第一勾拉槽的槽口朝向针状主体的顶端，第二勾拉槽的槽口朝向针状主体的底端；所述第一勾拉槽和第二勾拉槽为半圆形结构，且直径均为100μm。勾拉槽的槽底为直径100μm的半圆形结构，更加光滑，不会对探针造成损伤。

优选地，所述勾拉块的上侧面与针状主体的顶端齐平。

优选地，所述勾拉块的左右两侧为内凹的弧形面，与针状本体光滑过渡。

优选地，所述针状主体末端设有握持部，握持部上设有防滑层。为了方便作业人员使用，在针状主体末端增设手柄作为握持部，且在手柄上增加防滑层，防滑层可以是橡胶或轨迹材质，便于作业人员进行调针作业。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：在钢针上设置了勾拉部，利用勾拉部上的勾拉槽来调节探针的位置，圆弧槽勾拉探针时不会损伤探针，直接勾住前后调节的探针针尖，调整到合适位置即可，方便快捷，大大提高了调针效率，保证探针卡在晶圆检测中的精准性。

附图说明

以下结合附图和本实用新型的实施方式来作进一步详细说明

图1为实施例1的结构示意图；

图2为图1的局部放大图；

图3为勾拉块的侧面示意图；

图4为实施例1的结构俯视图；

图5为实施例2的结构示意图。

图中标记为：针状主体1、握持部11、防滑层12、勾拉块2、上侧面21、弧形面22、第一勾拉槽23、第二勾拉槽24。

具体实施方式