[实用新型]一种炉管腔体内辅助降温装置

说明书

本实用新型公开了一种炉管腔体内辅助降温装置，包括上壳体与下壳体，所述上壳体两侧设有第一连接块，所述下壳体两侧设有第二连接块，所述第一连接块上设有多个插销，所述第二连接块上设有多个通孔，所述通孔与插销的位置一一对应，所述上壳体与下壳体内均设有冷却液管，所述冷却液管连接至支管，所述支管端部连接有总管，所述总管连接至冷却液罐；本实用新型结构简单，设计新颖，可辅助降温水管进行降温，保证炉管正常运行。

技术领域

本实用新型涉及晶圆片炉管降温技术领域，具体为一种炉管腔体内辅助降温装置。

背景技术

晶圆片加工需要通过炉管加热，对晶圆片表面进行一系列操作，如打磨、氧化、镀膜等，还需要对炉管内部进行降温，防止机器过热，现有技术中炉管内通常采用灯管加热，水管降温的方案，而用水管降温存在漏水、水管破裂等隐患，降温温度不能达到目标值，会影响炉管内降温效果，导致机器过热故障、晶圆片加工出现问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种炉管腔体内辅助降温装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种炉管腔体内辅助降温装置，所述上壳体两侧设有第一连接块，所述下壳体两侧设有第二连接块，所述第一连接块上设有多个插销，所述第二连接块上设有多个通孔，所述通孔与插销的位置一一对应，所述上壳体与下壳体内均设有冷却液管，所述冷却液管连接至支管，所述支管端部连接有总管，所述总管连接至冷却液罐。

优选的，所述上壳体与下壳体为透明状，且均为圆弧形，所述冷却液管为螺旋状，在所述上壳体与下壳体内呈S型分布。

优选的，所述插销上设有限位块，所述插销可在第一连接块上旋转，所述通孔为椭圆状，所述插销可穿过所述通孔。

优选的，所述总管上设有控制阀。

优选的，所述冷却液罐上设有增压泵。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，利用合理的机械结构，巧妙发挥各要素内在潜力，该装置可安装于任意一个降温水管上，上壳体、下壳体、冷却液管、第一连接块、第二连接块均为可塑形的，可以更好的适配降温水管的形状，螺旋状的冷却液管分布于上下壳体内部，冷却液可在冷却液管内充分冷却降温水管，辅助降温水管进行降温，以达到更好的降温效果，同时可以保护降温水管，保证炉管正常运行；控制阀与增压泵互相配合可控制改变冷却液的用量，根据实际情况及时调整，保证冷却效果的同时不会因过度冷却而对降温水管、炉管造成伤害。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型中上壳体与下壳体剖面图；

图3为本实用新型中第二连接块结构示意图；

图4为本实用新型中插销结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。