[实用新型]一种晶圆检测用压接机构及装置

权利要求书

1.一种晶圆检测用压接机构，包括用于压接晶圆的压接盒，其特征在于，所述晶圆检测用压接机构还包括：

承载件(100)；

第一延长件(200)，设置在所述承载件(100)上，且所述第一延长件(200)沿第一水平方向延伸出所述承载件(100)；

滑动件(300)，沿竖直方向滑移设置在所述第一延长件(200)上；

第二延长件(400)，设置在所述滑动件(300)上，且所述第二延长件(400)沿所述第一水平方向延伸出所述第一延长件(200)；

固定件(500)，设置在所述第二延长件(400)上，所述固定件(500)沿第二水平方向延伸出所述第二延长件(400)，所述第二水平方向与所述第一水平方向相交叉，且所述压接盒设置在所述固定件(500)上；以及

驱动件(600)，被配置为驱动所述滑动件(300)滑动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述第一延长件(200)设置有两个，两个所述第一延长件(200)分别设置在所述承载件(100)两端；

所述第二延长件(400)对应设置有两个，两个所述第二延长件(400)通过所述固定件(500)相连接；

所述滑动件(300)设置在其中一个所述第一延长件(200)上，另一个所述第一延长件(200)与所述第二延长件(400)之间设置有导向组件(800)，所述导向组件(800)被配置为使所述第二延长件(400)沿竖直方向运动。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述固定件(500)上设置有加强杆(900)，所述加强杆(900)沿所述固定件(500)的长度方向固定在所述固定件(500)上，且所述加强杆(900)的两端分别与两侧的所述第二延长件(400)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述固定件(500)上设置有多组用于安装所述压接盒的安装槽位(501)，多组所述安装槽位(501)沿第二水平方向均匀间隔设置，所述压接盒对应所述安装槽位(501)的数量设置有多个。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述固定件(500)上沿所述安装槽位(501)的长度方向开设有参考刻度(502)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述参考刻度(502)位于所述固定件(500)靠近所述安装槽位(501)的侧壁上。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述第一延长件(200)和/或所述第二延长件(400)和/或所述固定件(500)上开设有减重孔(201)。

8.根据权利要求1-6任一项所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述承载件(100)与所述第一延长件(200)通过加强件(700)固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述加强件(700)位于所述第一延长件(200)背离所述滑动件(300)的一侧，所述加强件(700)两相邻的侧壁分别与所述第一延长件(200)及所述承载件(100)的侧壁相贴合并固定连接。

10.一种晶圆压接装置，包括用于用于承载晶圆的载台，以及如权利要求1-9任一项所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述压接机构通过所述承载件(100)安装于所述载台上，且所述晶圆位于所述固定件(500)下方。