[实用新型]检测晶棒晃动的系统和晶体生长炉

权利要求书

1.一种检测晶棒晃动的系统，其特征在于，包括：

待检件，所述待检件适于连接于拉晶绳的下端，所述待检件的下端设置有籽晶，所述籽晶与所述待检件、所述拉晶绳同轴设置，所述待检件具有至少三个检测面，多个所述检测面同轴设置且分别处于不同高度，多个所述检测面包括沿径向由内向外依次设置的第一检测面、第二检测面和第三检测面，所述第一检测面的径向宽度大于所述第二检测面的径向宽度，所述第一检测面和所述第二检测面上下间距为h1，所述第一检测面和所述第三检测面上下间距为h2，h2＞h1；

距离检测组件，所述距离检测组件适于固设于晶体生长炉的顶部，且所述距离检测组件位于所述待检件的上方，所述距离检测组件包括沿所述第二检测面的周向间隔设置的多个距离检测元件，每个所述距离检测元件与所述第二检测面的中心轴线之间的径向距离相等，每个所述距离检测元件的检测位置适于与所述第一检测面的外周沿上下正对，

其中，每个所述距离检测元件用于检测其与位于其正下方的对应所述检测面之间的上下距离。

2.根据权利要求1所述的检测晶棒晃动的系统，其特征在于，所述第三检测面沿径向由内向外、向下延伸。

3.根据权利要求1所述的检测晶棒晃动的系统，其特征在于，多个所述检测面还包括第四检测面，所述第四检测面位于所述第一检测面的径向内侧，且所述第一检测面环绕所述第四检测面设置，所述第四检测面和所述第三检测面上下间距为h3，h3＞h1。

4.根据权利要求3所述的检测晶棒晃动的系统，其特征在于，在上下方向上，所述第二检测面和所述第四检测面位于所述第一检测面的同侧，且所述第一检测面和所述第三检测面位于所述第二检测面的同侧。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的检测晶棒晃动的系统，其特征在于，还包括：

停摆装置，所述停摆装置包括两个相对设置的伸缩机构，所述伸缩机构具有伸展状态和收缩状态，在所述伸展状态下，两个所述伸缩机构的彼此邻近的一端拼接出限位环，所述限位环用于限制所述拉晶绳的晃动幅度，在所述收缩状态，两个所述伸缩机构的彼此邻近的一端分离。

6.根据权利要求5所述的检测晶棒晃动的系统，其特征在于，所述伸缩机构包括：

第一伸缩件；

第二伸缩件，所述第二伸缩件与所述第一伸缩件沿水平方向伸缩配合，以使所述伸缩机构的长度可调节；

第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述第二伸缩件相对所述第一伸缩件移动；

限位件，所述限位件设在所述第一伸缩件的长度一端，且适于与另一个所述伸缩机构的限位件拼接出所述限位环。

7.根据权利要求5所述的检测晶棒晃动的系统，其特征在于，所述停摆装置还包括：

导轨，所述导轨与所述晶体生长炉的顶壁连接，且所述导轨沿竖直方向延伸，所述导轨为两个，两个所述导轨对称设置在所述待检件的径向两侧，且所述导轨与所述籽晶底部的晶棒间隔开；

第二驱动件，所述第二驱动件设置在所述导轨上，所述第二驱动件设置有两个，两个所述第二驱动件与两个所述导轨一一对应，所述伸缩机构设于对应所述导轨，所述第二驱动件用于驱动所述伸缩机构沿所述导轨的延伸方向移动。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的检测晶棒晃动的系统，其特征在于，还包括：

报警装置，所述报警装置与多个所述距离检测元件通信连接，且所述报警装置构造成：根据多个所述距离检测元件的检测结果输出不同的报警信号。