[实用新型]IC载板电镀用除油设备

权利要求书

1.IC载板电镀用除油设备，其特征在于：包括新料罐(3)、过渡罐和除油单元；

所述除油单元包括第一除油单元(11)、第二除油单元(12)和第三除油单元(13)，所述第二除油单元(12)设于第一除油单元(11)和第三除油单元(13)之间；

所述新料罐(3)与第一除油单元(11)连通；

所述过渡罐包括第一过渡罐(21)和第二过渡罐(22)，所述第一过渡罐(21)与第一除油单元(11)和第二除油单元(12)连通，所述第二过渡罐(22)与第二除油单元(12)和第三除油单元(13)连通。

2.根据权利要求1所述的IC载板电镀用除油设备，其特征在于：所述第一除油单元(11)、第二除油单元(12)和第三除油单元(13)结构相同，第一除油单元(11)包括除油箱(1)和连接连接于除油箱(1)的喷淋组件(5)；

所述除油箱(1)包括箱体(111)和连接于箱体(111)两侧的连接板(112)；

所喷淋组件(5)可拆卸连接于连接板(112)。

3.根据权利要求2所述的IC载板电镀用除油设备，其特征在于：所述除油箱(1)的底板(113)倾斜设置，除油箱(1)的侧壁设有用于连接液泵(6)的连接管(114)，所述连接管(114)设于底板(113)较低的一端。

4.根据权利要求3所述的IC载板电镀用除油设备，其特征在于：所述第一除油单元(11)的喷淋组件(5)与新料罐(3)连通，第一除油单元(11)的除油箱(1)通过液泵(6)与第一过渡罐(21)连通；

所述第一过渡罐(21)与第二除油单元(12)的喷淋组件(5)连通，所述第二除油单元(12)的除油箱(1)通过液泵(6)与第二过渡罐(22)连通；

所述第二过渡罐(22)与第三除油单元(13)的喷淋组件(5)连通。

5.根据权利要求4所述的IC载板电镀用除油设备，其特征在于：还包括废料罐(4)，所述废料罐(4)通过液泵(6)与第三除油单元(13)的除油箱(1)连通。

6.根据权利要求2所述的IC载板电镀用除油设备，其特征在于：所述喷淋组件(5)包括布液管(51)、挂架(52)和喷头(53)，所述布液管(51)的上端为开口，布液管(51)的底端封闭，所述挂架(52)连接于布液管(51)。

7.根据权利要求6所述的IC载板电镀用除油设备，其特征在于：所述布液管(51)连接有多个喷头(53)，多个喷头(53)沿布液管(51)的轴线方向设置。