[实用新型]疏通组件及蒸镀装置

权利要求书

1.一种疏通组件，其特征在于，包括：

清除棒，所述清除棒用于清除蒸镀装置中线性蒸发源的喷嘴内凝结的蒸镀材料，所述清除棒的两端分别形成进气口和出气口，所述进气口连通所述出气口；

气源模块，所述气源模块具有输气口，所述输气口连通所述进气口，所述气源模块用于向所述清除棒供气；

驱动模块，所述驱动模块连接所述清除棒，所述驱动模块用于驱动所述清除棒朝靠近或远离所述喷嘴的方向运动。

2.如权利要求1所述的疏通组件，其特征在于，所述疏通组件包括多个所述清除棒，所述驱动模块包括驱动机构，所述驱动机构连接多个所述清除棒；或者

所述驱动模块包括多个所述驱动机构，每一所述驱动机构分别连接一个所述清除棒。

3.如权利要求2所述的疏通组件，其特征在于，所述清除棒的延伸方向平行于所述喷嘴的延伸方向，且所述驱动机构为伸缩气缸，所述伸缩气缸用于驱动所述清除棒沿其延伸方向运动。

4.如权利要求1所述的疏通组件，其特征在于，所述清除棒包括杆体和清除头，所述杆体呈圆柱状，所述清除头呈圆锥状或圆台状，所述清除头设置所述杆体靠近所述喷嘴的一端，所述清除头的底面抵接在所述杆体的底面；

所述清除头的底面直径小于所述喷嘴的内径。

5.如权利要求4所述的疏通组件，其特征在于，所述杆体的底面直径小于所述清除头的底面直径，所述清除头的底面设有排气口，所述排气口连通所述进气口。

6.如权利要求1-5任一项所述的疏通组件，其特征在于，所述线性蒸发源呈长方体状，所述线性蒸发源具有长边和宽边；

所述疏通组件还包括第一安装架、驱动件和导轨；

所述导轨布置在所述宽边的一侧，且所述导轨的延伸方向垂直于多个所述喷嘴的排布延伸方向；所述第一安装架安装在导轨上，多个所述清除棒安装在所述第一安装架上，所述驱动件连接所述第一安装架，所述驱动件用于驱动所述第一安装架沿所述导轨往复运动。

7.如权利要求6所述的疏通组件，其特征在于，所述疏通组件还包括第二安装架和毛刷，所述第二安装架活动安装在所述导轨上，所述驱动件连接所述第二安装架，所述驱动件用于驱动所述第二安装架沿所述导轨往复运动，所述毛刷安装在所述第二安装架上；

当所述驱动件驱动所述第二安装架运动至所述线性蒸发源的正上方时，所述毛刷抵接多个所述喷嘴。

8.如权利要求7所述的疏通组件，其特征在于，所述导轨上依次间隔设有多个传感器，多个所述传感器沿所述宽边相邻布置，多个所述传感器用于检测所述第一安装架和所述第二安装架在所述导轨上的位置。

9.如权利要求6所述的疏通组件，其特征在于，所述疏通组件还包括托盘，所述托盘布置在所述线性蒸发源的下侧；和/或

所述疏通组件还包括气动控制器，所述气动控制器连接所述气源模块和所述驱动模块，所述气动控制器用于控制所述气源模块向任意所述清除棒供气的供气量大小以及控制所述驱动模块的往复运动；和/或

所述气源模块包括输气机构和输气管，所述输气管一端连通所述输气机构的输气口，另一端连通多个所述出气口。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：腔体、蒸镀托盘、线性蒸发源和权利要求1-9任一项所述疏通组件，所述线性蒸发源、所述蒸镀托盘和所述疏通组件安装在所述腔体内，所述线性蒸发源包括坩埚和多个喷嘴，多个所述喷嘴呈线性阵列安装在所述坩埚上，所述蒸镀托盘设置于所述线性蒸发源的上方，所述蒸镀托盘用于安装玻璃基板，所述疏通组件设置于所述线性蒸发源和所述蒸镀托盘之间。