[实用新型]半导体废气供气组件和废气处理装置

权利要求书

1.一种半导体废气供气组件，其特征在于，包括：三通管、直线驱动件、刮刀、第一真空卡箍和第二真空卡箍；

所述三通管的第一端口用于通过所述第一真空卡箍与气源设备可转动连接，所述三通管的第二端口用于通过所述第二真空卡箍与废气处理设备可转动连接；

所述直线驱动件和所述三通管的第三端口连接，所述直线驱动件的输出端和所述刮刀连接，以使得所述刮刀可移动设于所述三通管的第二端和第三端之间的管路中。

2.根据权利要求1所述的半导体废气供气组件，其特征在于，所述三通管包括主管和支管；所述支管的第一端为所述三通管的第一端口，所述支管的第二端设于所述主管的侧壁，并与所述主管连通；所述主管的第一端为所述三通管的第二端口，所述主管的第二端为所述三通管的第三端口；所述刮刀可移动设于所述主管内；

所述直线驱动件具有第一状态和第二状态；在所述直线驱动件处于第一状态的情形下，所述直线驱动件驱动所述刮刀移动至所述主管的第二端和所述支管的第二端之间；

在所述直线驱动件处于第二状态的情形下，所述直线驱动件驱动所述刮刀在所述主管的第一端和第二端之间往复移动，以清除所述主管的内壁上的附着物。

3.根据权利要求2所述的半导体废气供气组件，其特征在于，所述半导体废气供气组件还包括第三真空卡箍；所述支管包括第一管体段和第二管体段；

所述第一管体段的第一端设于所述主管的侧壁，并与所述主管连通，所述第一管体段的第二端和所述第二管体段的第一端通过所述第三真空卡箍可转动连接，所述第二管体段的第二端为所述三通管的第一端口。

4.根据权利要求3所述的半导体废气供气组件，其特征在于，所述第一管体段和所述第二管体段的管体类型为直管和弯管当中的至少一种。

5.根据权利要求3所述的半导体废气供气组件，其特征在于，所述主管和所述第一管体段的管体类型均为直管，所述第二管体段的管体类型为弯管；

其中，所述主管的延伸方向和所述第一管体段的延伸方向的夹角呈锐角，所述第一管体段的第二端朝向所述直线驱动件的一侧延伸设置。

6.根据权利要求2所述的半导体废气供气组件，其特征在于，所述半导体废气供气组件还包括探测器；

所述探测器用于检测所述主管的内壁是否有附着物，所述探测器和所述直线驱动件电性连接，所述直线驱动件用于根据所述探测器的探测结果控制所述刮刀的移动状态。

7.根据权利要求2至6任一项所述的半导体废气供气组件，其特征在于，所述刮刀呈筒状；所述直线驱动件的输出端和所述刮刀的第一端连接，所述刮刀的第二端形成有刀口，所述刀口沿所述刮刀的周向延伸；

其中，所述刮刀和所述主管同轴设置，所述刮刀的最大直径小于所述主管的内径。

8.根据权利要求7所述的半导体废气供气组件，其特征在于，所述刮刀的侧壁设有通气孔。

9.根据权利要求7所述的半导体废气供气组件，其特征在于，所述刮刀的第一端设有螺纹套筒，所述螺纹套筒和所述刮刀的第一端之间设有加强筋；

所述直线驱动件的输出端设有螺纹转接头，所述螺纹套筒和所述螺纹转接头螺纹连接。

10.一种废气处理装置，其特征在于，包括废气处理设备和如权利要求1至9任一项所述的半导体废气供气组件，所述三通管的第二端口通过所述第二真空卡箍与所述废气处理设备可转动连接。