[实用新型]晶圆竖直清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆竖直清洗装置，其特征在于，包括箱体(10)、支撑机构(20)和喷淋机构(30)，所述支撑机构(20)设置在所述箱体(10)下部，以使晶圆(100)呈竖直状态支撑于所述箱体(10)内；所述喷淋机构(30)设置在所述箱体(10)上部，以向晶圆(100)喷射清洗液；所述支撑机构(20)包括：

主动轮(21)，所述主动轮(21)连接有驱动件，用于在所述驱动件带动下自转，以支撑所述晶圆(100)在竖直面内旋转；

浮动轮对，所述浮动轮对包括至少两个对称设置于所述主动轮(21)两侧的第一轮(221)，所述第一轮(221)能在所述晶圆(100)重力作用下自转且相对所述箱体(10)沿第一轨迹移动，以使所述晶圆(100)朝靠近所述主动轮(21)方向移动；以及

从动轮对，所述从动轮对包括至少两个对称设置于所述主动轮(21)两侧的第二轮(231)，所述第二轮(231)在所述晶圆(100)旋转过程中自转且对所述晶圆(100)形成支撑。

2.根据权利要求1所述的晶圆竖直清洗装置，其特征在于，所述箱体(10)下部设置有用于限定所述第一轨迹的弧形孔(12)，所述第一轮(221)套设在第一轴(222)上，所述第一轴(222)通过所述弧形孔(12)浮动设置在所述箱体(10)上，且所述第一轴(222)具有伸出在所述箱体(10)外的连接段，所述连接段上连接有用于复位所述第一轴(222)的弹性件(223)。

3.根据权利要求2所述的晶圆竖直清洗装置，其特征在于，所述第二轮(231)的直径与所述主动轮(21)的直径相等，所述第二轮(231)的中心与所述主动轮(21)的中心处于同一圆周上。

4.根据权利要求3所述的晶圆竖直清洗装置，其特征在于，所述弧形孔(12)具有第一端(121)和第二端(122)，所述第一端(121)相比所述第二端(122)更靠近所述喷淋机构(30)，所述主动轮(21)及所述第二轮(231)在所述第一轮(221)处于第一端(121)位置时，与所述晶圆(100)处于分离状态；所述主动轮(21)及所述第二轮(231)在所述第一轮(221)处于第二端(122)位置时，与所述晶圆(100)处于接触支撑状态。

5.根据权利要求4所述的晶圆竖直清洗装置，其特征在于，所述第一轮(221)的直径小于所述主动轮(21)的直径。

6.根据权利要求5所述的晶圆竖直清洗装置，其特征在于，所述第一轮(221)的中心与所述晶圆(100)的旋转中心之间具有第一距离L1，所述主动轮(21)的中心与所述晶圆(100)的旋转中心之间具有第二距离L2，L1L2。

7.根据权利要求1所述的晶圆竖直清洗装置，其特征在于，所述主动轮(21)上设置有第一卡槽(211)，所述第一卡槽(211)从所述主动轮(21)的外周缘径向朝内延伸，且所述第一卡槽(211)的截面呈U形。

8.根据权利要求1所述的晶圆竖直清洗装置，其特征在于，所述第一轮(221)上设置有第二卡槽(2211)，所述第二卡槽(2211)从所述第一轮(221)的外周缘径向朝内延伸，且所述第二卡槽(2211)的截面呈U形。

9.根据权利要求1所述的晶圆竖直清洗装置，其特征在于，所述第二轮(231)上设置有第三卡槽(2311)，所述第三卡槽(2311)从所述第二轮(231)的外周缘径向朝内延伸，且所述第三卡槽(2311)的截面呈U形。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的晶圆竖直清洗装置，其特征在于，所述喷淋机构(30)包括两个喷淋杆(31)，两个所述喷淋杆(31)对称设置于所述晶圆(100)两侧，所述喷淋杆(31)沿第一方向设置有多个喷液口(311)，所述第一方向为所述喷淋杆(31)的长度方向，且所述喷淋杆(31)转动设置在所述箱体(10)上，以使所述喷液口(311)相对所述晶圆(100)表面的角度实现调整。