[实用新型]一种防止加工碎屑进入流道的工装有效

专利信息
申请号: 202223185123.6 申请日: 2022-11-29
公开(公告)号: CN218800876U 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 於军 申请(专利权)人: 托伦斯半导体设备启东有限公司
主分类号: B23Q11/00 分类号: B23Q11/00;B23Q3/06
代理公司: 合肥市博念易创专利代理事务所(普通合伙) 34262 代理人: 尚秘
地址: 226200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 防止 加工 碎屑 进入 工装
【权利要求书】:

1.一种防止加工碎屑进入流道的工装,其特征在于,包括:

支撑座(1),所述支撑座(1)的底侧固定设置有两个支腿(21),所述支撑座(1)的顶侧开设有圆槽(2),所述圆槽(2)的底侧内壁上开设有多个流道孔(3),所述支撑座(1)的后侧开设有凹槽(4),所述凹槽(4)的底侧内壁上固定连通有进气软管(5),所述支撑座(1)上固定安装有负压泵(6),所述负压泵(6)的抽取端固定连通有弯折管(7),所述弯折管(7)远离所述负压泵(6)的一端固定连通有收集罩(8),所述负压泵(6)的排放端固定连通有带孔过滤收集箱(9);

所述支撑座(1)的顶侧固定安装有两个固定座(10),所述支撑座(1)的顶侧转动连接有两个水平设置的螺纹套筒(11),两个所述螺纹套筒(11)为对称设置,两个所述螺纹套筒(11)内均螺纹连接有螺纹杆(12),所述螺纹杆(12)与相对应的所述固定座(10)滑动设置,两个所述螺纹杆(12)相互靠近的一端均固定焊接有L型板(13),两个所述L型板(13)上均螺纹连接有定位螺栓(14),两个所述支腿(21)上转动连接有同一个水平设置的驱动杆(15),所述驱动杆(15)上固定安装有两个链轮(16),两个所述螺纹套筒(11)上均固定安装有链轮(16),相对应的两个所述链轮(16)上传动连接有同一个链条(17)。

2.根据权利要求1所述的一种防止加工碎屑进入流道的工装,其特征在于:所述支撑座(1)上固定焊接有固定板(20),所述负压泵(6)与所述带孔过滤收集箱(9)均固定安装在所述固定板(20)上。

3.根据权利要求1所述的一种防止加工碎屑进入流道的工装,其特征在于:所述螺纹套筒(11)上固定套设有两个轴承的内圈,所述轴承的外圈固定焊接有支撑杆,所述支撑杆的底端与所述支撑座(1)的顶侧固定设置。

4.根据权利要求1所述的一种防止加工碎屑进入流道的工装,其特征在于:所述支撑座(1)的顶侧开设有两个滑槽(18),螺纹杆(12)上固定套设有导向座(19),所述导向座(19)滑动设置在相对应的所述滑槽(18)内。

5.根据权利要求1所述的一种防止加工碎屑进入流道的工装,其特征在于:两个所述螺纹套筒(11)相互远离的一端均固定焊接有连接杆,两个所述连接杆上均固定安装有手轮,两个所述手轮上均设有防滑橡胶。

6.根据权利要求1所述的一种防止加工碎屑进入流道的工装,其特征在于:所述带孔过滤收集箱(9)内设有过滤网,所述带孔过滤收集箱(9)的后侧设有盖板。

7.根据权利要求1所述的一种防止加工碎屑进入流道的工装,其特征在于:两个所述定位螺栓(14)的底端均设有橡胶垫片。

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