[实用新型]一种钢带传输装置

说明书

本实用新型涉及半导体电镀技术领域，尤其涉及一种钢带传输装置。该钢带传输装置主要包括转轴、上转盘、下转盘和钢带绝缘组件。其中转轴上设置有上转盘和下转盘，上转盘上设置有上钢带，下转盘上设置有下钢带，转轴能够驱动上转盘和/或下转盘进行转动。钢带绝缘组件套设在转轴上，下转盘设置在钢带绝缘组件上，钢带绝缘组件被配置为绝缘下钢带和转轴。本实用新型提供的钢带传输装置结构简单，能够使上钢带和下钢带绝缘，避免下钢带电镀上金属，提高产品良率和品质；同时能够延长电解液的使用寿命，节约成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体电镀技术领域，尤其涉及一种钢带传输装置。

背景技术

在利用半导体电镀设备加工电镀产品时，需要对产品进行通电，使得电解工艺槽体内的铜电镀至产品上。在实际生产过程中，由于下钢带是和产品一起被浸没在电解液中的，因此会出现铜被电镀到下钢带上的现象，从而影响产品镀铜的均匀性，影响产品的良率和品质。同时，下钢带上被镀铜后，在下钢带传输的过程中会导致下钢带上的铜掉落入电解工艺槽体内，从而出现污染电解液的现象，缩短电解液的使用寿命，增加成本。

因此，亟需设计一种钢带传输装置，来解决以上技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种钢带传输装置，结构简单，能够使上钢带和下钢带绝缘，避免下钢带镀金属，提高产品良率和品质；能够延长电解液的使用寿命，节约成本。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种钢带传输装置，包括：

转轴，所述转轴上设置有上转盘和下转盘，所述上转盘上设置有上钢带，所述下转盘上设置有下钢带，所述转轴能够驱动所述上转盘和/或所述下转盘进行转动；

钢带绝缘组件，所述钢带绝缘组件套设在所述转轴上，所述下转盘设置在所述钢带绝缘组件上，所述钢带绝缘组件被配置为绝缘所述下钢带和所述转轴。

作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带绝缘组件包括第一绝缘部和第二绝缘部，所述第一绝缘部与所述第二绝缘部一体成型，所述第一绝缘部套设在所述转轴上，所述第二绝缘部位于所述第一绝缘部的下方，所述第二绝缘部用于支撑所述下转盘。

作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述第一绝缘部的截面和所述第二绝缘部的截面均呈圆形，且所述第二绝缘部的直径大于所述第一绝缘部的直径。

作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述下转盘上开设有第一安装孔，所述第二绝缘部上开设有第二安装孔，所述钢带传输装置包括固定件，所述固定件穿设在所述第一安装孔和所述第二安装孔中。

作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述第一绝缘部内壁上凸设有凸出部，所述凸出部将所述第一绝缘部限定出第一容置空间和第二容置空间；所述转轴上设置有第一轴承和第二轴承，所述第一轴承和所述第二轴承之间限定出第三容置空间，所述凸出部容置在所述第三容置空间内，所述第一轴承容置于所述第一容置空间，所述第二轴承容置于所述第二容置空间。

作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带传输装置还包括拖轮，所述拖轮套设在所述转轴上，且所述拖轮设置在所述钢带绝缘组件的下方，所述拖轮被配置为托衬所述钢带绝缘组件。

作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述转轴上设置有键槽，所述钢带传输装置包括花键，所述花键设置在所述键槽内，所述上转盘通过所述花键装配在所述转轴上。

作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带绝缘组件为硅胶件。

作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带传输装置包括上连接板和下连接板，所述转轴的两端分别与所述上连接板和所述下连接板连接。

作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带传输装置还包括架体，所述上连接板和所述下连接板均固定连接在所述架体上。