[实用新型]微量气相氟化氢的进料装置

说明书

本实用新型涉及氟化氢进料装置技术领域，具体涉及微量气相氟化氢的进料装置。所述的微量气相氟化氢的进料装置，包括沿氟化氢进料方向依次连接的氟化氢储罐、氟化氢气化器和质量流量计，所述氟化氢储罐与氟化氢气化器之间的管路上依次设置有减压阀和隔膜压力表，所述氟化氢气化器和质量流量计之间的管路上设置有伴热带，所述质量流量计连接氟化氢进料管路。本实用新型的进料装置，实现了微量气相氟化氢的进料，避免了因氟化氢通料不稳定对实验造成的干扰，大大提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及氟化氢进料装置技术领域，具体涉及微量气相氟化氢的进料装置。

背景技术

氟化氢作为氟化工行业最主要的上游原材料，在固定床评价制备氟化氢C、氟化氢O系列反应催化剂性能时，均需要气相氟化氢作为反应原料。评价时所用的催化剂为微量，因此要求氟化氢反应进料量为1-40g/h之间不等。但是无水氟化氢暴露在空气中后会产生强腐蚀性，且氟化氢沸点为20℃，室温下容易气化，导致压力不稳定，容易产生气液混合态。由于上述原因，随着氟化氢进料量的降低，实现难度也就越大。

因此，为实现持续且稳定的氟化氢进料，减少因氟化氢进料原因造成的实验干扰，需要设计一种微量气相氟化氢的进料装置。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种微量气相氟化氢的进料装置，实现了微量气相氟化氢的进料，避免了因氟化氢通料不稳定对实验造成的干扰，大大提高工作效率。

本实用新型所述的微量气相氟化氢的进料装置，包括沿氟化氢进料方向依次连接的氟化氢储罐、氟化氢气化器和质量流量计，所述氟化氢储罐与氟化氢气化器之间的管路上依次设置有减压阀和隔膜压力表，所述氟化氢气化器和质量流量计之间的管路上设置有伴热带，所述质量流量计连接氟化氢进料管路。

作为一种优选方案，所述氟化氢储罐的顶部连接氮气管路，所述氮气管路上设置有1#球阀。

作为一种优选方案，所述氟化氢储罐安装有压力仪表。

作为一种优选方案，所述氟化氢储罐与氟化氢气化器之间的管路上依次设置有2#球阀、减压阀、隔膜压力表和3#球阀。

其中，氟化氢储罐通过罐顶氮气管路加压至罐内压力为0.2-0.5MPa，从而其罐底出料为液相氟化氢，液相氟化氢通过减压阀减压至0.05-0.3MPa，再经过氟化氢气化器加热后使氟化氢完全气化；该压力可以使氟化氢气化器气化的HF达到质量流量计的工作压力。

作为一种优选方案，所述氟化氢气化器和质量流量计之间的管路上依次设置有4#球阀和伴热带。伴热带的温度设置在30-50℃，在伴热条件下控制氟化氢气化器内气相氟化氢的进料速度。

作为一种优选方案，所述质量流量计经单向阀连接氟化氢进料管路。在质量流量计的出口处加装单向阀，用于保护质量流量计，并保证进料稳定。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型的微量气相氟化氢的进料装置，利用减压阀控制氟化氢气化器内氟化氢的压力，达到质量流量计稳定的工作压力，再通过质量流量计控制气相无水氟化氢的进料速率，可以使氟化氢的进料量在1-40g/h之间调节，实现了微量气相氟化氢的进料，避免了因氟化氢通料不稳定对实验造成的干扰，大大提高工作效率。

附图说明

图1为本实用新型微量气相氟化氢的进料装置的结构示意图；

图中：1、氮气管路；2、氟化氢储罐；3、2#球阀；4、减压阀；5、隔膜压力表；6、3#球阀；7、氟化氢气化器；8、4#球阀；9、伴热带；10、质量流量计；11、单向阀；12、氟化氢进料管路；13、1#球阀；14、压力仪表。

具体实施方式