[实用新型]一种惰性气体控制装置

说明书

本实用新型属于智能制造生产设备技术领域，尤其涉及一种惰性气体控制装置。其包括：基板、灯箱、氧传感器组、进料传感器及充气阀组，基板上沿进料方向间隔开设有N个取样口，其中，N为正整数；基板上沿进料方向间隔设置有N+1个风刀，取样口依次间隔设置于相邻两风刀之间；灯箱设置于进料方向末端的取样口与风刀之间，灯箱及若干风刀上分别开设有充气口；氧传感器组一端对应连接于N个取样口，另一端连接有控制器；进料传感器一端与进料方向初始端的风刀外侧开设的取样口连接，另一端连接控制器；充气阀组一端对应连接于N+1个充气口，另一端连接外部气源，充气阀组还与控制器连接。本实用新型用于解决惰性气体浪费的问题。

技术领域

本实用新型属于智能制造生产设备技术领域，尤其涉及一种惰性气体控制装置。

背景技术

在半导体、显示行业及板材包装等行业，经常需要用到粘合剂进行粘合，目前通常采用的粘合方式是光照粘合，采用特定的光照射粘合剂，使粘合剂发生反应实现粘合。

在使用光照射粘合剂时，需要使用惰性气体进行保护，以防止空气中的活性气体参与反应，影响粘合剂的粘合效果。

目前，在实际生产过程中，通常是充入大量的惰性气体用于保护，这种情况会存在需要问题，大多数无法使腔内环境达到稳定，影响光照效果，不仅没有达到有效结果，反倒增加生产成本和浪费资源；且在生产中若出现供料不足或者短时间前工序故障时，会持续充入惰性气体造成浪费，增加生产成本。

实用新型内容

本申请实施例要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种惰性气体控制装置，用于解决惰性气体浪费的问题。

本申请实施例解决上述技术问题的技术方案如下：一种惰性气体控制装置，其包括：基板，所述基板上沿进料方向间隔开设有N个取样口，其中，N为正整数；

所述基板上沿进料方向间隔设置有N+1个风刀，所述取样口依次间隔设置于相邻两所述风刀之间；

灯箱，设置于进料方向末端的所述取样口与所述风刀之间，所述灯箱及若干所述风刀上分别开设有充气口；

氧传感器组，一端对应连接于N个所述取样口，另一端连接有控制器；

进料传感器，所述进料传感器一端与进料方向初始端的所述风刀外侧开设的取样口连接，另一端连接所述控制器；

充气阀组，一端对应连接于N+1个所述充气口，另一端连接外部气源，所述充气阀组还与所述控制器连接。

相较于现有技术，以上技术方案具有如下有益效果：

通过在基板上间隔设置的风刀将基板下方空间分割为多个区域，通过相间设置的取样口采集每个区域中的氧浓度数据传递给控制器，进而控制器通过该数据控制充气阀组相应地调节各个充气口中的气量，形成动态的调节回路，有效避免了只是大量充入气体造成的浪费，同时在进料方向的初始端设置的进料传感器可以有效监测前工序的供料等情况，在无物料进入的情况下维持基本气体充入量，避免了大量气体的浪费。

进一步地，还包括出料传感器，所述进料传感器一端与进料方向末端的所述风刀外侧开设的取样口连接，另一端连接所述控制器。

进一步地，还包括若干流量计，分别串接于所述充气阀组与所述充气口之间，所述流量计连接于所述控制器，用于向所述控制器传递数据。

进一步地，还包括输送装置，所述输送装置与所述基板间隔设置，二者之间形成输送间隙；

所述输送装置上设置有与所述基板相对的距离传感器，所述距离传感器连接所述控制器。

进一步地，所述输送装置上还设置有速度传感器，所述速度传感器连接所述控制器。

附图说明