[实用新型]具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置

权利要求书

1.一种具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，其特征在于，包括：

用于发射电子束的发射机构，所述发射机构包括通电后能放射电子的灯丝和用于容纳所述灯丝的盖板；

用于盛放蒸发材料的盛放机构；

用于产生磁场的电磁铁；

设置于所述发射机构背离所述盛放机构一侧的扫描线圈，所述电子束能穿过所述扫描线圈，所述扫描线圈用于提供使所述电子束在所述盛放机构表面扫描的扫描磁场；

与所述电磁铁相连用于为所述电磁铁供电的第一电源模块和与所述扫描线圈相连用于为所述扫描线圈供电的第二电源模块；所述第一电源模块和所述第二电源模块均设有消磁单元，所述消磁单元用于使所述电磁铁和所述扫描线圈消磁。

2.根据权利要求1所述的具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，其特征在于，所述消磁单元包括用于提供反向电流的第一电源单元；所述反向电流与所述电磁铁的工作电流方向相反，所述反向电流与所述扫描线圈的工作电流方向相反。

3.根据权利要求1所述的具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，其特征在于，所述消磁单元包括用于提供震荡衰减交流回路的第二电源单元。

4.根据权利要求1所述的具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，其特征在于，还包括与所述第一电源模块、所述第二电源模块和所述消磁单元分别电连接的控制器，所述控制器用于控制所述第一电源模块、所述第二电源模块和所述消磁单元。

5.根据权利要求4所述的具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，其特征在于，所述控制器能控制所述第一电源模块和/或所述第二电源模块内的电流反向。

6.根据权利要求1所述的具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，其特征在于，还包括与所述灯丝相连用于为所述灯丝供电的第三电源模块。

7.根据权利要求6所述的具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，其特征在于，还包括与所述盖板相连用于为所述盖板提供负高压电的第四电源模块。

8.根据权利要求7所述的具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，其特征在于，所述盖板具有用于容纳所述灯丝的容纳槽，所述容纳槽具有相对设置的底面和开口、以及围设于所述底面和所述开口之间的侧面；所述开口的轮廓在所述底面所在平面上的投影位于所述底面之外，所述灯丝设置于所述底面上；所述侧面包括在第一方向上相对设置并与所述第四电源模块相连的第一表面和第二表面，所述第一方向平行于所述底面；所述第一表面和所述底面之间具有第一夹角，所述第二表面和所述底面之间具有第二夹角，所述第一夹角和/或所述第二夹角可调。

9.根据权利要求8所述的具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，其特征在于，还包括用于引导或改变所述磁场空间分布的导磁组件，所述导磁组件包括分别设置于所述电磁铁两端的两个导磁板、以及分别与所述导磁板相连的至少两个导磁极，所述导磁极沿第二方向位于所述导磁板的同一侧，所述第二方向垂直于所述底面。

10.根据权利要求9所述的具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，其特征在于，还包括周向设有多个所述盛放机构且能绕第三方向旋转的转盘，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两相互垂直；在所述第二方向上，所述转盘和所述电磁铁位于所述发射机构的不同侧。